[发明专利]蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

蒸发源，包括壳体，以及设置于所述壳体内的蒸发腔室，所述蒸发腔室内设置有蒸镀材料；

喷嘴，设置于所述壳体顶部，且连接所述蒸发腔室；以及，

限制板组，设置于所述壳体顶部，用于限制所述喷嘴的蒸镀角；所述限制板组包括对称设置的第一限制板和第二限制板，所述喷嘴位于所述第一限制板与所述第二限制板之间；

所述第一限制板内设置有第一转轴，所述第一转轴连接于第一旋转驱动装置；所述第二限制板内设置有第二转轴，所述第二转轴连接于第二旋转驱动装置；

其中，所述第一限制板和所述第二限制板旋转后分别与所述壳体表面形成夹角，通过调节所述夹角角度可改变所述喷嘴的蒸镀角，以适应限制板内侧因材料沉积导致厚度增加而引起的蒸镀角变化。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一限制板和所述第二限制板的端面呈长方形。

3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一限制板和所述第二限制板的端面呈正三边形。

4.根据权利要求2或3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述壳体形状呈长方体，所述第一限制板的长边、所述第二限制板的长边以及所述壳体的长边相互平行。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一转轴的轴点与所述第一限制板的端面中心点相重合，所述第二转轴的轴点与所述第二限制板的端面中心点相重合。

6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一限制板的底部与所述壳体表面之间设置有第一空隙，所述第二限制板的底部与所述壳体表面之间设置有第二空隙。

7.根据权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一空隙和所述第二空隙的高度相同，且低于所述喷嘴的高度。

8.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，

所述壳体的一端设置有第一支撑装置，所述壳体的相对另一端设置有第二支撑装置；其中，

所述第一支撑装置包括贴合于所述壳体端面设置的第一固定板，以及设置于所述固定板顶端的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板顶部开设有第一通孔，所述第二支撑板顶部开设有第二通孔；

所述第二支撑装置包括贴合于所述壳体另一端面设置的第二固定板，以及设置于所述第二固定板顶端的第三支撑板和第四支撑板，所述第三支撑板顶部开设有第三通孔，所述第四支撑板顶部开设有第四通孔；

所述第一转轴的一端穿设于所述第一通孔内，所述第一转轴的另一端穿设于所述第二通孔内；

所述第二转轴的一端穿设于所述第三通孔内，所述第二转轴的另一端穿设于所述第四通孔内。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，

所述第一旋转驱动装置和所述第二旋转驱动装置设置于所述所述第一固定板表面或所述第二固定板表面；

所述第一旋转驱动装置的扭力输出端连接所述第一转轴的端部，所述第二旋转驱动装置的扭力输出端连接所述第二转轴的端部。

10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，

所述第一转轴两端伸出所述第一限制板的部分分别设置为第一螺纹段和第二螺纹段，所述第一螺纹段上螺接有第一螺母，所述第二螺纹段上螺接有第二螺母；

所述第一支撑板位于所述第一限制板的端面与所述第一螺母之间，所述第三支撑板位于所述第一限制板的另一端面与所述第二螺母之间；

所述第二转轴两端伸出所述第二限制板的部分分别设置为第三螺纹段和第四螺纹段，所述第三螺纹段上螺接有第三螺母，所述第四螺纹段上螺接有第四螺母；

所述第二支撑板位于所述第二限制板的端面与所述第三螺母之间，所述第四支撑板位于所述第二限制板的另一端面与所述第四螺母之间。