[发明专利]一种耐高温低辐射镀膜玻璃有效
申请号: | 201810148769.6 | 申请日: | 2018-02-13 |
公开(公告)号: | CN108191260B | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 黄丽莎;顾海波 | 申请(专利权)人: | 江苏奥蓝工程玻璃有限公司 |
主分类号: | C03C17/36 | 分类号: | C03C17/36 |
代理公司: | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 226000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低辐射镀膜玻璃 锌铝氧化物 耐高温 玻璃基片表面 镍铬氧化物 掺杂 镀膜层 可见光透过率 耐高温性能 玻璃基片 玻璃 覆盖 | ||
1.一种耐高温低辐射镀膜玻璃,包括玻璃基片(1)以及覆盖于所述玻璃基片(1)表面的镀膜层,其特征在于,所述镀膜层按照以下顺序依次镀于所述玻璃基片(1)表面:第一TiOx层(2),掺杂ZrB2的第一锌铝氧化物层(3),第一镍铬氧化物层(4),Ag层(5),第二镍铬氧化物层(6),掺杂ZrB2的第二锌铝氧化物层(7),第二TiOx层(8),所述第一镍铬氧化物层(4)的厚度为3-8nm。
2.根据权利要求1所述的一种耐高温低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述掺杂ZrB2的第一锌铝氧化物层(3)与掺杂ZrB2的第二锌铝氧化物层(7)均采用真空磁控溅射法直接溅射掺入ZrB2的氧化锌铝靶材,其中ZrB2的掺入量是2.8-8.2wt%。
3.根据权利要求2所述的一种耐高温低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述掺杂ZrB2的第一锌铝氧化物层(3)与掺杂ZrB2的第二锌铝氧化物层(7)均采用真空磁控溅射法直接溅射掺入ZrB2的氧化锌铝靶材,其中ZrB2的掺入量是3.1-6.3wt%。
4.根据权利要求3所述的一种耐高温低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述掺杂ZrB2的第一锌铝氧化物层(3)与掺杂ZrB2的第二锌铝氧化物层(7)均采用真空磁控溅射法直接溅射掺入ZrB2的氧化锌铝靶材,其中ZrB2的掺入量是4.2-6.1wt%。
5.根据权利要求4所述的一种耐高温低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第一TiOx层(2)的厚度为20-30nm,所述掺杂ZrB2的第一锌铝氧化物层(3)的厚度为10-20nm。
6.根据权利要求5所述的一种耐高温低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述Ag层(5)的厚度为2-10nm。
7.根据权利要求6所述的一种耐高温低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第二镍铬氧化物层(6)的厚度为55-60nm,所述掺杂ZrB2的第二锌铝氧化物层(7)的厚度为10-20nm。
8.根据权利要求5所述的一种耐高温低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第二TiOx层(8)的厚度为20-30nm。
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