[发明专利]复衬底及其制造方法有效
申请号: | 201810148894.7 | 申请日: | 2018-02-13 |
公开(公告)号: | CN108428674B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | A·罗特 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/15 | 分类号: | H01L23/15;H01L21/48 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 周家新 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 及其 制造 方法 | ||
1.一种具有脆性断裂板或脆性断裂层(2)的复衬底,所述复衬底形成通过设置在脆性断裂层(2)中的至少一条预定断裂线(4)彼此邻接的至少两个一体邻接的单衬底(12、19),其中,
将彼此邻接的单衬底(12、19)材料上分离开的至少一个缺口(13、20)与所述预定断裂线(4)邻接,并且嵌入到所述脆性断裂层(2)中,而且完全穿透所述脆性断裂层(2),其中,提供至少两条相交的预定断裂线(4),所述至少两条相交的预定断裂线(4)在缺口(13、20)布置的交点(5)处直角相交,
其特征在于:
单衬底(12、19)的每个拐角都被所述至少一个缺口(13、20)斜切,使得每个缺口(13、20)能够被看作是两个邻接的三角形缺口。
2.根据权利要求1所述的复衬底,
其特征在于:
缺口(13、20)沿着所述预定断裂线(4)的最大延伸长度不超过通过所述预定断裂线(4)彼此邻接的单衬底(12、19)的边缘的长度的一半,所述边缘由所述预定断裂线(4)确定。
3.根据权利要求1或2所述的复衬底,
其特征在于:
每个缺口(13、20)能够被看作是单个菱形缺口(13、20)。
4.根据权利要求1或2所述的复衬底,
其特征在于:
至少一组每组包括至少四个单衬底(19)的单衬底(19)具有由至少两条相交的预定断裂线(4)形成的共同的交点(5),在所述交点(5)处,该组的所有单衬底(19)彼此邻接,并且每组仅具有一个布置在共同的交点(5)处的缺口(2)。
5.根据权利要求1或2所述的复衬底,
其特征在于:
所述预定断裂线(4)与所述脆性断裂层(2)的外边缘(6)相交,并且所述缺口(13)布置在所述预定断裂线(4)与所述外边缘(6)之间的交点(7)处。
6.根据权利要求1或2所述的复衬底,
其特征在于:
脆性断裂层(2)的两个外边缘(6)相交,并且完全穿透所述脆性断裂层(2)的另一个缺口(10)布置在所述两个外边缘(6)的交点(8)处。
7.根据权利要求1或2所述的复衬底,
其特征在于:
所述缺口(10、13、20)至少部分地通过横断线限界。
8.根据权利要求1或2所述的复衬底,
其特征在于:
所述缺口(10、13、20)至少部分地通过曲线限界。
9.一种用于制作具有脆性断裂板或脆性断裂层(2)的复衬底(11、18)的方法,在所述复衬底(11、18)中,至少一条预定断裂线(4)被嵌入到所述脆性断裂层(2)中,至少两个一体邻接的单衬底(12、19)通过所述至少一条预定断裂线(4)彼此邻接,
与所述预定断裂线(4)邻接的至少一个缺口(13、20)被嵌入到所述脆性断裂层(2)中,所述缺口完全穿透所述脆性断裂层(2)且材料上分离开经由所述预定断裂线(4)彼此邻接的所述单衬底(12、19),其中,至少两条相交的预定断裂线(4)嵌入到所述脆性断裂层(2)中,使得它们在所述缺口(13、20)嵌入到所述脆性断裂层(2)中的交点(5)处直角相交,
其特征在于:
单衬底(12、19)的每个拐角都被所述至少一个缺口(13、20)斜切,使得每个缺口(13、20)能够被看作是两个邻接的三角形缺口。
10.根据权利要求9所述的方法,
其特征在于:
预定断裂线(4)和缺口(13、20)借助于在用于嵌入预定断裂线(4)的刻划模式与用于嵌入缺口(13、20)的切割模式之间变换的单个激光器被嵌入到脆性断裂层(2)中。
11.根据权利要求9或10所述的方法,
其特征在于:
每个缺口(13、20)能够被看作是单个菱形缺口(13、20)。
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