[发明专利]集成电感及其制造方法有效
申请号: | 201810149133.3 | 申请日: | 2018-02-13 |
公开(公告)号: | CN108538808B | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 梁宝文;林嘉亮 | 申请(专利权)人: | 瑞昱半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01F17/00;H01F27/28;H01F27/40;H01F41/04 |
代理公司: | 72003 隆天知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄艳;李琛 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属走线 线段 电容性耦合 耦合电容 第二相 第二轴 第一轴 电感 方向实质 集成电感 对称 垂直 制造 | ||
1.一种电感,包含:
一第一金属走线线圈,该第一金属走线线圈相较于一第一轴方向的布局是对称的;
一第二金属走线线圈,该第二金属走线线圈相较于一第二轴方向的布局是该第一金属走线线圈的一镜像,其中该第二轴方向是垂直于该第一轴方向;
一第一耦合电容,用来提供该第一金属走线线圈的一第一线段与该第二金属走线线圈的一第一相对应线段之间的一电容性耦合,其中该第一相对应线段是对应该第一线段;以及
一第二耦合电容,用来提供该第一金属走线线圈的一第二线段与该第二金属走线线圈的一第二相对应线段之间的一电容性耦合,其中该第二相对应线段是对应该第二线段,其中,
该第一耦合电容包含一第一组的金属走线,该第二耦合电容包含一第二组的金属走线,该第一组的金属走线从该第一线段向该第一相对应线段延伸,但并未接触该第一相对应线段,而该第二组的金属走线从该第二线段向该第二相对应线段延伸,但并未接触该第二相对应线段,其中,
该第一耦合电容包含一第三组的金属走线,该第二耦合电容包含一第四组的金属走线,该第三组的金属走线从该第一相对应线段向该第一线段延伸,但并未接触该第一线段,该第四组的金属走线从该第二相对应线段向该第二线段延伸,但并未接触该第二线段,其中该第一组的金属走线与该第三组的金属走线相互叉合,该第二组的金属走线与该第四组的金属走线相互叉合。
2.如权利要求1所述的电感,其中相较于该第一轴方向,该第一耦合电容是该第二耦合电容的一镜像。
3.如权利要求1所述的电感,其中一差分信号的一第一电压与该差分信号的一第二电压分别施加于该第一金属走线线圈的一第一末端与该第一金属走线线圈的一第二末端。
4.如权利要求1所述的电感,其中该第一金属走线线圈进一步包含一中央抽头,该中央抽头位于该第一金属走线线圈的一中点,其中该中央抽头耦接一电压源或一电流源。
5.如权利要求1所述的电感,其中该第二金属走线线圈进一步包含一中央抽头,该中央抽头位于该第二金属走线线圈的一中点,该中央抽头耦接一电压源或一电流源。
6.一种制造电感的方法,包含下列步骤:
提供一第一金属走线线圈,该第一金属走线线圈相较于一第一轴方向的布局是对称的;
提供一第二金属走线线圈,该第二金属走线线圈相较于一第二轴方向的布局是该第一金属走线线圈的一镜像,其中该第二轴方向是垂直于该第一轴方向;
提供一第一耦合电容,该第一耦合电容用来提供该第一金属走线线圈的一第一线段与该第二金属走线线圈的一第一相对应线段之间的一电容性耦合;以及
提供一第二耦合电容,该第二耦合电容用来提供该第一金属走线线圈的一第二线段与该第二金属走线线圈的一第二相对应线段之间的一电容性耦合,其中,
该第一耦合电容包含一第一组的金属走线,该第二耦合电容包含一第二组的金属走线,该第一组的金属走线从该第一线段向该第一相对应线段延伸,但并未接触该第一相对应线段,而该第二组的金属走线从该第二线段向该第二相对应线段延伸,但并未接触该第二相对应线段,其中,
该第一耦合电容包含一第三组的金属走线,该第二耦合电容包含一第四组的金属走线,该第三组的金属走线从该第一相对应线段向该第一线段延伸,但并未接触该第一线段,该第四组的金属走线从该第二相对应线段向该第二线段延伸,但并未接触该第二线段,其中该第一组的金属走线与该第三组的金属走线相互叉合,该第二组的金属走线与该第四组的金属走线相互叉合。
7.如权利要求6所述的方法,其中相较于该第一轴方向,该第一耦合电容是该第二耦合电容的一镜像。
8.如权利要求6所述的方法,其中一差分信号的一第一电压与该差分信号的一第二电压分别施加于该第一金属走线线圈的一第一末端与该第一金属走线线圈的一第二末端。
9.如权利要求6所述的方法,其中该第一金属走线线圈进一步包含一中央抽头,该中央抽头位于该第一金属走线线圈的一中点,该中央抽头耦接一电压源或一电流源。
10.如权利要求6所述的方法,其中该第二金属走线线圈进一步包含一中央抽头,该中央抽头位于该第二金属走线线圈的一中点,该中央抽头耦接一电压源或一电流源。
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