[发明专利]一种损伤监测装置及系统

说明书

本发明公开了一种损伤监测装置及系统，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给信号处理模块；信号处理模块用于接收监测模块发送的物理参数，并根据物理参数的变化判断待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；显示模块用于显示信号处理模块处理后的数据及监测结果。通过监测模块、信号处理模块和显示模块的设置，能够对掩膜版进行实时的监测，并对监测数据进行处理将处理后的数据及结果显示给相关监测人员，以便于及时对该损伤处进行处理，避免出现宕机影响生产进程。

技术领域

本发明涉及监测装置领域，特别涉及一种损伤监测装置及系统。

背景技术

在OLED生产的过程中，随着玻璃基板流过数量的增加，掩膜版产生损伤的几率也会相应的增加，掩膜版产生损伤不仅会影响到产品的质量，严重的还会产生宕机，影响生产进程。

具体地，在对量产玻璃进行蒸镀时，由于受到温度或其他因素的影响，使得掩膜版发生形变、撕裂、凸起或者与量产的基板粘贴在一起，上述情况如未及时处理会造成基板损伤或掩膜版严重撕裂，不仅会降低产品的良率，严重时更会影响到整个生产的进程，给各项资源带来不必要的消耗。

因此，在工艺制备过程中如何及时发现损伤是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种损伤监测装置，用以解决现有技术中由于未能及时处理掩膜版上的损伤造成宕机，而影响产品良率和制备进程的技术问题。

因此，本发明实施例提供了一种损伤监测装置，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，

所述监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给所述信号处理模块；

所述信号处理模块用于接收所述监测模块发送的所述物理参数，并根据所述物理参数的变化判断所述待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；

所述显示模块用于显示所述信号处理模块处理后的数据及监测结果。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述监测模块包括：监测单元和测量转化单元；

所述监测单元用于向所述待监测掩膜版发射电磁波或超声波，当所述待监测掩膜版出现损伤时所述监测单元的阻抗发生变化；

所述测量转化单元用于将所述监测单元的阻抗发生的变化转化电压参数的变化，并将所述电压参数的数据发送给所述信号处理模块。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述监测单元设置于所述待监测掩膜版的待监测面的正上方的预设距离处。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，在平行于所述待监测掩膜版的平面上所述待监测单元按照预设规律移动。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述监测单元包括传感线圈或脉冲反射式超声波传感器。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述监测单元与所述待监测掩膜版之间的距离为15cm～25cm。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，所述信号处理模块包括处理器。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的上述损伤监测装置，还包括报警模块；

所述信号处理模块还用于在处理后的数据超出预设阈值时向所述报警模块发送控制信号；

所述报警模块用于接收到所述信号处理模块发送的所述控制信号后报警。