[发明专利]晶体生长界面电信号采集系统

权利要求书

1.一种晶体生长界面电信号采集系统，其特征在于：包括坩埚、籽晶杆、晶转机构和电信号采集单元；所述晶转机构与外部的炉体绝缘，且包括晶转杆、联轴器、双轴电机和电气滑环；所述晶转杆与籽晶杆电气连接，为空心结构，内部设有导电芯；所述联轴器的下端与导电芯相连；所述双轴电机包括电机支架、电机主轴和电机副轴，所述电机主轴与联轴器的上端相连；所述电气滑环的固定端固定在电机支架上，自由端与电机副轴电气连接；所述电信号采集单元包括微电压计，所述微电压计的两端分别与坩埚和电气滑环的固定端电气连接。

2.根据权利要求1所述的晶体生长界面电信号采集系统，其特征在于：所述导电芯设有至少一个螺旋状弯折点。

3.根据权利要求1或2所述的晶体生长界面电信号采集系统，其特征在于：所述微电压计的两端分别通过差分滤波电路与坩埚和电气滑环的固定端连接。

4.根据权利要求3所述的晶体生长界面电信号采集系统，其特征在于：所述差分滤波电路为放大系数为1的二级差分滤波电路。

5.根据权利要求1或2所述的晶体生长界面电信号采集系统，其特征在于：所述晶转机构还包括电机支撑板，所述电机支撑板与外部的称重传感器之间设有刚玉绝缘片，所述刚玉绝缘片与电机支撑板采用刚玉螺栓连接。

6.根据权利要求1或2所述的晶体生长界面电信号采集系统，其特征在于：所述联轴器为金属弹性联轴器。