[发明专利]曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，其特征在于，所述曝光装置包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；

所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；

所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；

所述投影组件具有透镜、连杆构件、用于摆动地支撑所述透镜的支撑构件以及用于摆动所述透镜以改变所述透镜的角度的驱动机构；

所述支撑构件具有安装台，所述安装台由支撑部件和设置于所述支撑部件的上端部的支承构件构成，第一接收部件、第二接收部件附接到所述支承构件的上端部；

所述支撑部件是在上下方向延伸的棱柱部件，所述支承构件的下端部形成有向下方突出的锥形部分；

所述支撑部件的上端部的前后方向的两侧面上设置有沿上下方向延伸的中空的筒状部，所述支承构件包括桩、一对条状支承件和一个板状部，形成于所述支承构件上的所述条状支承件的下端嵌合于所述筒状部；

所述筒状部构成插入部分，所述插入部分具有供所述条状支承件插入的空间，所述条状支承件的下端部分构成向所述支撑部件突出的突出部。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述突出部通过嵌合于所述筒状部的内侧而由所述支撑部件支承。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述板状部固定在所述条状支承件的上端部分上。

4.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述板状部倾斜以使其后端位于前端的上方。

5.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述板状部的纵截面大致呈U字形。

6.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述板状部向下方开口以覆盖各所述条状支承件的上端部。

7.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，由所述第一接收部件、所述第二接收部件中的插入轴部分构成的中心轴与所述透镜的透镜主体的下表面之间的距离比所述中心轴与安装于所述透镜主体的边缘部的轨道部件的下表面之间的距离小。

8.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述支撑框架包括第一臂体、第二臂体和第三臂体。

9.根据权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，连接块通过第一旋转轴在水平方向上可旋转地连接到所述第一臂体，并且所述第二臂体经由第二旋转轴在水平方向上连接到所述连接块。

10.根据权利要求9所述的曝光装置，其特征在于，所述第一转动轴支撑第三臂体的基端部分以在竖直方向上旋转，并且所述第三臂体通过所述第一转动轴在竖直方向上旋转。