[发明专利]用于执行曝光处理的设备

权利要求书

1.一种用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述用于执行曝光处理的设备包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；

所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；

所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；

所述投影组件包括透镜和支撑构件，所述透镜包括透镜主体，所述透镜主体的边缘部固定有轨道部件；

两个所述轨道部件安装在所述透镜主体的边缘部，所述轨道部件在所述透镜的摆动运动的中心轴的轴向上隔开预定的间隔配置，所述轨道部件是以与所述中心轴正交的方式沿左右方向延伸的细长的棱柱部件，所述轨道部件的上表面与所述透镜主体的背面接合，所述轨道部件在所述透镜主体的左右两端上延伸；

第一连接部件、第二连接部件分别固定在所述轨道部件的左右方向的中间部分，所述第一连接部件、所述第二连接部件构造成向上开口的U字形，所述第一连接部件、所述第二连接部件具有近端部分和远端部分；

所述第一连接部件、所述第二连接部件正交于所述透镜主体的中心轴。

2.根据权利要求1所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述第一连接部件、所述第二连接部件比所述透镜主体的前侧面、后侧面更接近所述透镜主体的中央。

3.根据权利要求1所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述支撑构件具有安装台，所述安装台的支承构件的板状部的长度方向的两端部与所述第一连接部件、所述第二连接部件交叉地沿所述中心轴的轴向延伸。

4.根据权利要求1所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，投影组件还具有固定部，所述固定部具有纵壁部和横壁部。

5.根据权利要求1所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，两个所述轨道部件中的一个所述轨道部件设置在所述透镜主体的前端与所述透镜主体的前后方向的中间部之间，两个所述轨道部件的另一个所述轨道部件设置在所述透镜主体的后端与所述透镜主体的前后方向的中间部之间。

6.根据权利要求1所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，设置于所述透镜主体侧的轴承部从所述轨道部件的下表面朝向所述透镜主体侧延伸。

7.根据权利要求6所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述轴承部上形成有内径比附接到所述支承构件的上端部的第一接收部件、第二接收部件中的插入轴部分的外径大的轴孔。

8.根据权利要求7所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，在所述透镜主体被所述支撑构件支撑的状态下，在所述轴承部的前表面上的轴孔的外边缘部分插入到所述插入轴部分的接触部中，以限制所述第一连接部件、所述第二连接部件以及所述透镜向下移动。

9.根据权利要求7所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，所述插入轴部分设置有接触部，所述接触部用于限制所述第一连接部件、所述第二连接部件的向下移动。

10.根据权利要求7所述的用于执行曝光处理的设备，其特征在于，当所述插入轴部分在所述轴孔内滑动时，所述第一接收部件、所述第二接收部件的后端部分与所述插入轴部分的接触部接触。