[发明专利]一种超导相变温度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种超导相变温度传感器，其特征在于，包括：依次镀在基板上的第一层薄膜和第二层薄膜；所述第一层薄膜为超导材料，所述第二层薄膜的材料为非超导材料或者为与所述第一层薄膜不同的超导材料；所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值沿所述第一层薄膜的长度方向逐渐变化；所述第一层薄膜的厚度与所述第二层薄膜的厚度之和为0.2-200nm。

2.根据权利要求1所述的超导相变温度传感器，其特征在于，所述第一层薄膜的厚度为0.1-199.9nm，所述第二层薄膜的厚度为0.1-199.9nm。

3.根据权利要求1所述的超导相变温度传感器，其特征在于， 所述第一层薄膜的宽度为10-1000000nm，所述第二层薄膜的最大宽度为10-1000000nm、所述第二层薄膜的最小宽度为0-999999nm。

4.根据权利要求3所述的超导相变温度传感器，其特征在于， 所述第一层薄膜的长度和所述第二层薄膜的长度均为0.01-100mm；所述第一层薄膜与所述第二层薄膜采用蜿蜒形式或螺旋形式布置。

5.根据权利要求4所述的超导相变温度传感器，其特征在于，所述第一层薄膜的宽度和所述第二层薄膜的宽度均为50-200nm；所述第一层薄膜的长度和所述第二层薄膜的长度均为0.1-10mm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的超导相变温度传感器，其特征在于， 所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度之比沿所述第一层薄膜的长度的方向从1逐渐变小至0。

7.一种超导相变温度传感系统，其特征在于，包括：多个如权利要求1-6任一项所述的超导相变温度传感器，且沿所述超导相变温度传感器的长度方向设置两个电极，所述电极分别与所述超导相变温度传感器的两端相连；以及相邻超导相变温度传感器的端部的电极首尾相连。

8.根据权利要求7所述的超导相变温度传感系统，其特征在于，所述超导相变温度传感器具有不同的工作范围，以扩大所述超导相变温度传感系统的工作范围。

9.一种超导相变温度传感器制备方法，其特征在于，包括：

在基底上依次镀第一层薄膜和第二层薄膜，且所述第一层薄膜为超导薄膜，所述第二层薄膜的材料为非超导材料或者为与所述第一层薄膜不同的超导材料，所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值沿所述第一层薄膜的长度方向逐渐变化；

将所述第一层薄膜的厚度与所述第二层薄膜的厚度之和调节为0.2-200nm，以使超导温度传感器的工作范围为第一温度至第二温度；

其中，所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值的最大处对应的超导相变温度为第一温度，所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值的最小处对应的超导相变温度为第二温度。