[发明专利]用于垂直半导体器件的精度提高的器件体系结构和方法在审
申请号: | 201810153423.5 | 申请日: | 2013-11-26 |
公开(公告)号: | CN108389807A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | T.E.哈林顿三世 | 申请(专利权)人: | D3半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L23/525;H01L27/06;H01L27/088;H01L27/112;H01L29/66;H01L29/739;H01L29/78;H01L49/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 申屠伟进 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微调 垂直半导体器件 改进 导通电阻 体系结构 垂直器件 单个器件 功率效率 目标筛选 期望目标 器件参数 系统建构 有效宽度 栅极电阻 阈值电压 分立 半导体 匹配 期望 | ||
1.一种可微调垂直半导体器件,包括:
第一垂直半导体器件;
与所述第一垂直半导体器件并联连接的第二半导体器件的集合;并且
所述第二半导体器件的集合中的每一个具有激活链路,所述激活链路连接至所述第一垂直半导体器件,用于微调所述可微调垂直半导体器件。
2.根据权利要求1所述的可微调垂直半导体器件,还包括:
所述第二半导体器件的集合中的每一个具有隔离链路,所述隔离链路连接至所述第一垂直半导体器件,用于创建所述第二半导体器件的集合的级联隔离;
其中,所述第二半导体器件的集合是第二垂直半导体器件的集合。
3.根据权利要求2所述的可微调垂直半导体器件,其中,所述第二半导体器件的集合中的每一个还包括:
连接至所述激活链路的电阻器。
4.根据权利要求2所述的可微调垂直半导体器件,其中,所述激活链路是激光熔线。
5.根据权利要求2所述的可微调垂直半导体器件,其中,所述激活链路是电可编程熔线。
6.根据权利要求5所述的可微调垂直半导体器件,其中,所述电可编程熔线具有非易失性存储器元件。
7.根据权利要求2所述的可微调垂直半导体器件,其中,所述第一垂直半导体器件是场效应器件。
8.一种可微调垂直半导体器件,包括:
具有第一栅极端子、第一源极端子和第一漏极端子的第一垂直半导体器件;
具有第二栅极端子、第二源极端子和第二漏极端子的第二半导体器件;
所述第一垂直半导体器件与所述第二半导体器件并联连接;以及
连接在所述第一栅极端子与所述第二栅极端子之间的隔离熔线。
9.根据权利要求8所述的可微调垂直半导体器件,还包括:
连接在所述第一源极端子与所述第二栅极端子之间的激活熔线;
其中,所述第二半导体器件是第二垂直半导体器件。
10.根据权利要求9所述的可微调垂直半导体器件,还包括:
第三垂直半导体器件的集合;
所述第三垂直半导体器件的集合中的每一个具有第三栅极端子、第三源极端子以及第三漏极端子;
所述第三垂直半导体器件的集合中的每一个与所述第一垂直半导体器件并联连接;
第二隔离熔线的集合,所述第二隔离熔线的集合中的每一个连接在所述第一栅极端子与所述第三垂直半导体器件的集合中的每一个第三栅极端子之间;以及
第二激活熔线的集合,所述第二激活熔线的集合中的每一个连接在所述第一源极端子与所述第三垂直半导体器件的集合中的每一个第三栅极端子之间。
11.根据权利要求10所述的可微调垂直半导体器件,还包括:
第一电阻器的集合;并且
所述第一电阻器的集合中的每一个电阻器连接在所述第二隔离熔线的集合中的每一个与所述第三垂直半导体器件的集合中的每一个第三栅极端子之间。
12.根据权利要求9所述的可微调垂直半导体器件,还包括:
连接在所述激活熔线与所述第二栅极端子之间的第一电阻器。
13.根据权利要求9所述的可微调垂直半导体器件,其中,所述第一垂直半导体器件是MOSFET器件并且所述第二垂直半导体器件是MOSFET器件。
14.根据权利要求9所述的可微调垂直半导体器件,其中,所述第一垂直半导体器件是IGBT器件并且所述第二垂直半导体器件是IGBT器件。
15.根据权利要求9所述的可微调垂直半导体器件,其中,所述第一垂直半导体器件是VDMOS并且所述第二垂直半导体器件是VDMOS器件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造