[发明专利]物体表面平整度快速测量方法

权利要求书

1.物体表面平整度快速测量装置方法，其在于，包括以下步骤：

步骤a、调整被测物件(1-6)，使所述被测物件(1-6)上表面的某一位置位于所述物镜(1-4)的焦点位置，且要求限位凸起(2-9)位于运动块(2-3)中的劣弧通槽中的最低点，限位凸起(2-9)位于其运动轨迹的最高点；

步骤b、设定图像传感器(1-9)的准焦成像时间t₁、离焦成像时间t₂、非成像时间t₃和第一阈值t₁'和第二阈值t₂'，其中，

L为所述运动块(2-3)中的劣弧通槽长度，ω为所述电机(2-6)的旋转角速度，r为所述运动块(2-3)中的劣弧通槽的半径，k为次数，π为圆周率；

步骤c、调整限位凸起(2-9)位于运动块(2-3)中的劣弧通槽中的最低点，限位凸起(2-9)位于其运动轨迹的最高点的时刻与图像传感器(1-9)的准焦成像时间t₁的中间时刻重合；且图像传感器(1-9)的连续k次离焦成像时间t₂与所述限位凸起(2-9)位于运动块(2-3)中的劣弧通槽中且运动块(2-3)静止的时间重合；

步骤d、转动电机(2-6)，使电机(2-6)完成N周转动，在准焦成像时间t₁和离焦成像时间t₂，所述二维平移台(1-5)静止，在非成像时间t₃，在二维平移台(1-5)在水平面内运动；图像传感器(1-9)得到(k+1)×N个图像数据，写成矩阵形式为：

每一列为电机(2-6)一个转动周期得到的图像数据；第一行为每个转动周期中准焦成像时间t₁下的图像数据；

步骤e、从以下矩阵中找出图像数据最大值fig_1max和图像数据最小值fig_1min；

步骤f、如果：

噪声不满足检测环境要求，改善测量环境，重新获取数据；

噪声满足检测环境要求，进入下一步；

步骤g、从以下矩阵中找出图像数据最大值fig_2max和图像数据最小值fig_2min；

(fig_1,1 fig_1,2 … fig_1,N)

步骤h、如果：

被测物件(1-6)上表面平整度不满足要求；

被测物件(1-6)上表面平整度不满足要求。