[发明专利]一种变间隙法布里-珀罗干涉仪反射率确定方法在审

专利信息
申请号: 201810155553.2 申请日: 2018-02-23
公开(公告)号: CN108363202A 公开(公告)日: 2018-08-03
发明(设计)人: 张芳;高教波;赵宇杰;张茗璇;高飞;郑雅卫;张磊;孟合民 申请(专利权)人: 西安应用光学研究所
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00
代理公司: 西北工业大学专利中心 61204 代理人: 陈星
地址: 710065 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 间隙法 干涉仪 干涉光谱成像 反射率确定 干涉条纹 调制度 反射率 干涉腔 正弦性 光谱成像 性能参数 单色光 综合分析
【权利要求书】:

1.一种变间隙法布里-珀罗干涉仪反射率确定方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤1:建立变间隙法布里-珀罗干涉光谱成像系统获取的单色光干涉条纹正弦性与变间隙法布里-珀罗干涉仪干涉腔反射率之间关系的数学模型;

步骤2:建立变间隙法布里-珀罗干涉光谱成像系统获取的单色光干涉条纹调制度与变间隙法布里-珀罗干涉仪干涉腔反射率之间关系的数学模型;

步骤3:根据步骤1和步骤2获得数学模型,以单色光干涉条纹正弦性与调制度的乘积为目标函数,当目标函数值最大时,对应的变间隙法布里-珀罗干涉仪干涉腔反射率值为最佳反射率值。

2.根据权利要求1所述一种变间隙法布里-珀罗干涉仪反射率确定方法,其特征在于:步骤1中,建立变间隙法布里-珀罗干涉光谱成像系统获取的单色光干涉条纹正弦性与变间隙法布里-珀罗干涉仪干涉腔反射率之间关系的数学模型的过程为:

步骤1.1:建立变间隙法布里-珀罗干涉光谱成像系统获取的单色光相对干涉光强随相位差变化的数学模型:

其中Ii(λ)为波长为λ的单色光对应的入射光光强,I(λ)为变间隙法布里-珀罗干涉光谱成像系统获取的单色光相对干涉光强,R为干涉腔反射率,为两干涉光之间的相位差:

x为水平方向干涉仪距光轴的距离,α为干涉仪楔角;

在[0,1]区间范围内,设定若干个干涉腔反射率数值,将每个干涉腔反射率数值代入本步骤中的数学模型,每个干涉腔反射率对应得到一条单色光相对干涉光强随相位差变化的曲线;

步骤1.2:对于每个干涉腔反射率,建立一条对应的单色光标准正弦函数曲线:其中标准正弦函数曲线的最大和最小幅值分别取步骤1.1中得到的该干涉腔反射率对应的单色光相对干涉光强幅值范围的最大值和最小值,标准正弦函数曲线的相位差变化区间和取值与步骤1.1中的计算值相同;

步骤1.3:对于每个干涉腔反射率,计算步骤1.1得到的单色光相对干涉光强随相位差变化曲线与步骤1.2得到的单色光标准正弦函数曲线的相对误差随相位差变化曲线;

步骤1.4:对于每个干涉腔反射率对应的相对误差随相位差变化曲线,将不同相位差处的相对误差的绝对值求和,得到该干涉腔反射率对应的总相对误差值,继而得到总相对误差值随干涉腔反射率的变化曲线;将总相对误差值随干涉腔反射率的变化曲线进行归一化处理,取归一化处理后的总相对误差值的倒数作为干涉条纹的正弦性Ksin,得到干涉条纹的正弦性随干涉腔反射率的变化曲线。

3.根据权利要求2所述一种变间隙法布里-珀罗干涉仪反射率确定方法,其特征在于:步骤2中,建立变间隙法布里-珀罗干涉光谱成像系统获取的单色光干涉条纹调制度与变间隙法布里-珀罗干涉仪干涉腔反射率之间关系的数学模型为:干涉条纹调制度

4.根据权利要求3所述一种变间隙法布里-珀罗干涉仪反射率确定方法,其特征在于:步骤3中,取目标函数为Z=Ksin·M,在[0,1]区间范围内,使得目标函数Z值最大的干涉仪干涉腔反射率值为最佳反射率值Ropt

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