[发明专利]一种低温等离子体臭氧灭菌器及灭菌方法

权利要求书

1.一种低温等离子体臭氧灭菌器，其特征在于：包括腔体(1)，所述腔体(1)内壁通过四氟固定件(3，4)固定正电极板(2)和层架(6)，所述正电极板(2)电性连接等离子电源(14)，所述腔体(1)接地，所述层架(6)上放置器械(5)；

所述腔体(1)连通有真空泵(8)，所述真空泵(8)与腔体(1)连接有真空泵电磁阀(7)；

所述腔体(1)还依次连通有混合汽体电磁阀(22)和混合汽体箱(21)，所述混合汽体箱(21)进气口连通至水蒸汽加热箱(20)，所述水蒸汽加热箱(20)连通至进水阀(19)和臭氧电磁阀(18)，所述臭氧电磁阀(18)控制臭氧存储箱(17)内的气体进入水蒸汽加热箱(20)，所述臭氧存储箱(17)进气口依次连通臭氧发生器(16)和氧气电磁阀(15)，所述氧气电磁阀(15)控制氧气进入臭氧发生器(16)内；

所述腔体(1)内部设有压力传感器(12)和臭氧测量计(13)。

2.根据权利要求1所述的一种低温等离子体臭氧灭菌器，其特征在于：所述真空泵(8)出气口连通有臭氧分解器(9)。

3.根据权利要求1所述的一种低温等离子体臭氧灭菌器，其特征在于：所述正电极板(2)为网孔板。

4.根据权利要求1-3任一项所述灭菌器的一种低温等离子体臭氧灭菌方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤S1：将器械(5)放置在层架(6)上，密闭腔体(1)后进行加热至50-60摄氏度；

步骤S2：打开氧气电磁阀(15)，氧气通过臭氧发生器(16)产生臭氧进入到臭氧存储箱(17)内，当臭氧存储箱(17)内臭氧浓度达到设定浓度时，关闭氧气电磁阀(15)；

步骤S3：纯水通过进水阀(19)进入到水蒸汽加热箱(20)里，达到设定水位后关闭进水阀(19)，此时加热水蒸汽加热箱(20)里的水至60-70摄氏度产生水蒸汽；

步骤S4：打开真空泵电磁阀(7)，启动真空泵(8)向腔体(1)中抽负压，当腔体内压力传感器(12)感应到真空度达到-30pa到-50pa时，关闭真空泵电磁阀(7)和真空泵(8)；

步骤S5：打开等离子电源(14)通过正电极板(2)与腔体(1)产生放电；

步骤S6：打开臭氧电磁阀(18)进入到水蒸汽加热箱(20)中带走水面上的水蒸汽进入到混合汽体箱(21)中，打开混合汽体电磁阀(22)向腔体(1)中进入混合汽体，当腔体压力到达150pa-200pa时中断等离子电源(14)放电，放电由水蒸汽和臭氧产生-OH基，进行扩散5-10分钟，对器械进行灭茵；

步骤S7：打开真空泵电磁阀(7)启动真空泵(8)向腔体中抽负压，将腔体里的空气经过臭氧分解器(9)分解腔体(1)内的臭氧成分，重复骤步S2-S6，直至器械灭菌合格；

步骤S8：向腔体中抽真空，腔体里温室保持50-65度，此时打开进气阀(11)通过高效过滤器过滤后向腔体进入空气，再抽真空、再加入空气、如此反复数次移除出水蒸汽，待器械(5)干燥和通过臭氧测量计(13)测量腔体(1)内无臭氧后，取出干燥后器械。

5.根据权利要求4所述的一种低温等离子体臭氧灭菌方法，其特征在于：所述步骤S6中，混合汽体电磁阀(22)为脉冲开启，时间和脉冲次数可设定，臭氧浓度由腔体内臭氧测量计(13)进行测量。

6.根据权利要求4所述的一种低温等离子体臭氧灭菌方法，其特征在于：所述步骤S7中，重复三次步骤S2-S6。