[发明专利]一种新型不锈钢环与塑料环粘接工艺方法在审
| 申请号： | 201810157226.0 | 申请日： | 2018-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN108312054A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 毛德琪;张少杰 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;H01L21/304;B24C1/08 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 不锈钢件 塑料件 新型不锈钢 专用工装 塑料环 粘接 按压 半导体晶圆 平坦化制程 高速运转 专用胶水 前处理 扭动 不锈钢 涂抹 固化 塑料 | ||
1.一种新型不锈钢环与塑料环粘接工艺方法，其特征在于，
具体步骤如下：
(1)不锈钢环前处理：使用异丙醇对不锈钢表面进行清洗，然后使用胶带将非粘接面遮蔽，露出与塑料表面粘接的部分；使用100#白刚玉，对粘接面进行喷砂处理，喷砂压力60-80PSI，角度45°-55°，喷嘴距离工件10-15cm，移动速度2-3cm/s，所得面粗度：50-80μin；去除遮蔽胶带，将不锈钢件置于超声波清洗槽中，清洗30s，去除表面附着的多余的砂砾，用清水洗净，置于烘箱中，烘烤30min，烤箱温度110-125℃；
(2)塑料环前处理：使用异丙醇对塑料环表面进行清洗，然后使用胶带将非粘接面遮蔽，露出与不锈钢表面粘接的部分；使用80#石榴石，对粘接面进行喷砂处理，喷砂压力60-80PSI，角度45°-55°，喷嘴距离工件10-15cm，移动速度2-3cm/s,所得面粗度：50-80μin；去除遮蔽胶带，将塑料件置于超声波清洗槽中，清洗30s，去除表面附着的多余的砂砾，然后用清水洗净，气枪吹干；
(3)塑料环置于工装上：用异丙醇将工装表面擦净；将经过前处理的塑料件置于工装上；工装具有定位的作用，保证塑料环位于下陷台里面；
(4)涂胶：使用胶枪将环氧胶按照蛇形均匀挤在塑料件的表面；用塑料刮板将环氧胶涂抹均匀，并确认表面无气孔及结块；
(5)不锈钢环与塑料环固定：将不锈钢环放置于塑料环上对齐；然后反复地以5～10°的角度旋转并按压治具顶部，直到不锈钢环固定在塑料环上为止；检查环氧胶是否沿着定位环圆周均匀地挤出，如果不均匀，则需要清除掉所有环氧胶并重复上述步骤；
(6)固化：将每一组粘好的不锈钢环和塑料环放置于平台之上，固化时，最多将10个带有夹具的固定环堆积在一起，并在顶部治具上放置25kg的重物，常温固化120小时；120小时后可以移除治具，进行结合力检测。
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