[发明专利]c向蓝宝石晶棒r向的确定及导向边的加工方法

权利要求书

1.一种c向蓝宝石晶棒r向的确定及导向边的加工方法，其特征在于具体工艺过程包括：首先将辅助装置设置在XRD衍射仪样品台测量板的后面，旋转晶棒确定一个a向面并在左侧的三角标记板上标记，调节XRD衍射仪的入射角度及接收器角度到特定值，旋转晶棒至电流表指针偏转时，该面即为r向，最后根据a向导向边对r向的特殊要求确定导向边进行平磨加工。

2.根据权利要求1所述的c向蓝宝石晶棒r向的确定及导向边的加工方法，其特征在于具体工艺过程包括：

（1）安装辅助装置：将底部带有滚轮，左侧带有三角标记板的辅助装置安装在XRD衍射仪测量板的后面；

（2）调节XRD衍射仪：将XRD衍射仪的入射角θ调节为18°55′，反射角2θ调节为37°50′；

（3）确定a向：将晶棒放置在辅助装置上，旋转晶棒找到a面X射线起峰的位置，在晶棒左侧按照三角板形状标记；

（4）调节XRD衍射仪：将XRD衍射仪的入射角θ调节为9°12′，反射角2θ调节为83°12′；

（5）确定r向：旋转晶棒找到r面X射线起峰的位置，在晶棒左侧三角板中线处标记；

（6）导向边加工：根据a向对r向的特殊要求，选择并平磨导向边。

3.根据权利要求2所述的c向蓝宝石晶棒r向的确定及导向边的加工方法，其特征在于根据a向导向边对r向的要求确定导向边并进行平磨加工。

4.根据权利要求3所述的c向蓝宝石晶棒r向的确定及导向边的加工方法，其特征在于辅助装置的底座设计为直角，设置在XRD衍射仪测量板的后面；辅助装置底部两侧设置滚轮，适用于不同长度晶棒；辅助装置左侧的三角标记板的三角板中线对齐XRD衍射仪测量板。