[发明专利]液冷头结构及其制造方法

权利要求书

1.一种液冷头结构的制造方法，包括步骤：

(a)提供一消失蕊，包含一本体以及至少二支撑柱，其中该本体包括至少一凹陷部以及彼此相对的一第一表面与一第二表面，该至少一凹陷部部分贯穿该本体的该第一表面与该第二表面之间，该至少二支撑柱的一第一端连接至该本体；

(b)以一金属粉末与一粘结剂的混合物，形成一生坯体，其中该生坯体包覆该消失蕊的该本体及该二支撑柱的该第一端，且填满该至少一凹陷部；

(c)移除该消失蕊，且部分移除该粘结剂，使该生坯体成为一脱脂体；以及

(d)烧结该脱脂体，以形成该液冷头结构，其中该液冷头结构包括一壳体、至少一液体入口管、至少一液体出口管以及至少一内嵌部，该至少一内嵌部设置于该壳体内，与该壳体组配形成一液冷流道，该至少一液体入口管与该至少一液体出口管通过该液冷流道彼此连通，其中该至少一液体入口管、该至少一液体出口管以及该至少一内嵌部分别对应该至少二支撑柱与该至少一凹陷部所构成。

2.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该至少一凹陷部为一选自至少一切口与多个开孔中至少之一者。

3.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该消失蕊由一聚甲醛所构成，其中该步骤(c)更包括步骤(c1)于一移除温度，移除该消失蕊；以及步骤(c2)于一脱脂温度下部分移除该粘结剂，其中该移除温度小于或等于该脱脂温度。

4.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该消失蕊由一低熔点金属所构成，该低熔点金属选自由铋、锡、铅、铟及其合金金属构成群组中之一者，其中该步骤(c)更包括步骤(c1)于一移除温度，移除该消失蕊；以及步骤(c2)于一脱脂温度下部分移除该粘结剂，其中该移除温度小于该脱脂温度。

5.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该消失蕊由一可溶性聚合物所构成，该可溶性聚合物选自由聚乙烯醇、聚甲基丙烯酸甲酯与聚乙二醇构成群组中之一者，其中该步骤(c)更包括步骤(c1)将该生肧体浸泡于一溶剂，移除该消失蕊；以及步骤(c2)于一脱脂温度下部分移除该粘结剂，其中该移除温度小于该脱脂温度。

6.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该粘结剂为一溶剂脱脂型粘结剂，其中该溶剂脱脂型粘结剂包含选自乙烯/醋酸乙烯酯共聚物、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯所构成族群中的至少一者与石蜡的混合物。

7.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该粘结剂为一溶剂脱脂型粘结剂，其中该溶剂脱脂型粘结剂包含选自聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇缩丁醛与聚乙二醇所构成族群中的至少一者。

8.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该粘结剂包含一酸脱脂型粘结剂，其中该酸脱脂型粘结剂更包含一聚甲醛。

9.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该金属粉末为选自一铜金属与一铜合金中之一者，其中该铜合金选自由锌、镍、钖、钨与钼所构成族群中的至少一者与铜的合金。

10.根据权利要求1所述的液冷头结构的制造方法，其中该二支撑柱包括与该第一端相对的一第二端，组配于执行该步骤(b)时与一成型模具连接，且通过该二支撑柱支撑该消失蕊于该成型模具之内。

11.一种液冷头结构，包括：

一壳体，包括至少一内嵌部设置于该壳体内，以组配形成一液体流道；

至少一液体入口管；以及

至少一液体出口管，其中该至少一液体入口管与该至少一液体出口管通过该液体流道彼此连通，其中该液体入口管、液体出口管、该壳体与该至少一内嵌部由一金属粉末与一粘结剂的混合物以一射出成型方式包覆一消失蕊后成型，经去除该消失蕊与部分脱脂该粘结剂后，将该金属粉末烧结成一体所构成。