[发明专利]飞秒激光预解离装置及化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种飞秒激光预解离装置，其特征在于：包括飞秒激光解离模块以及高激发态的里德堡原子检测模块，

所述飞秒激光解离模块，用于对反应气体进行催化解离；所述飞秒激光解离模块包括飞秒激光器以及第二管道，所述第二管道内壁为反射面；所述飞秒激光器，用于发射飞秒激光，催化反应气体；所述第二管道，供所述飞秒激光在其内部进行多次反射；所述第二管道与所述第一管道连通；

所述高激发态的里德堡原子检测模块，用于分析催化产物并将分析结果反馈至所述飞秒激光解离模块；所述高激发态的里德堡原子检测模块包括离子吸收电极板、高压正极电极板、零伏电极板以及四极质谱仪；所述离子吸收电极板，用于回收反应过程中产生的正离子；所述高压正极电极板和所述零伏电极板，用于将反应气体电离；所述四极质谱仪，用于分析反应气体的成分；

所述飞秒激光解离模块与所述高激发态的里德堡原子检测模块通过第一管道连通，所述第一管道安设有阀门。

2.如权利要求1所述的一种飞秒激光预解离装置，其特征在于：所述飞秒激光解离模块还包括用于对所述飞秒激光的光场进行时空调制的延迟光路组件。

3.如权利要求2所述的一种飞秒激光预解离装置，其特征在于：所述延迟光路组件包括分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及第三反射镜；

所述分束镜，用于将所述飞秒激光分为反射光和透射光；

所述第一反射镜，用于接收所述透射光并将该透射光原路反射至所述分束镜进行二次反射；

所述第二反射镜，用于接收所述分束镜进行二次反射反射来的光并将其原路反射至所述分束镜进行二次透射；

所述第三反射镜，用于接收所述反射光以及所述分束镜进行二次透射透射来的光且将两者反射至所述第二管道内。

4.如权利要求3所述的一种飞秒激光预解离装置，其特征在于：所述延迟光路组件还包括靠近或远离所述分束镜的移动台，所述第二反射镜安装在所述移动台上。

5.如权利要求3所述的一种飞秒激光预解离装置，其特征在于：所述第三反射镜的反射光与所述第二管道内壁的反射面的法线之间的夹角在0-50°之间。

6.如权利要求3所述的一种飞秒激光预解离装置，其特征在于：所述延迟光路组件还包括两个衰减片，其中一个所述衰减片安设于所述分束镜与所述第二反射镜之间，另一个所述衰减片安设于所述分束镜与所述第三反射镜之间。

7.如权利要求1所述的一种飞秒激光预解离装置，其特征在于：所述飞秒激光的入射脉宽在7-150fs之间，入射峰值功率为10¹⁰W/cm²-10¹⁶W/cm²之间，波长在280-1100nm之间。

8.一种化学气相沉积设备，包括反应气体供给源以及反应腔，其特征在于：还包括如权利要求1-7任一所述的一种飞秒激光预解离装置，所述飞秒激光解离模块的两端分别与所述反应气体供给源以及所述反应腔连通；

所述反应腔内设有载片台；

所述反应腔具有抽气口。