[发明专利]锯线及切断装置

说明书

在表面附着有多个磨粒(130)的锯线(10)具备由钨或钨合金形成的金属线(100)、设置于金属线(100)的表面的镍镀层(110)和设置于金属线(100)与镍镀层(110)的界面处的镍及钨的密合层(120)，在锯线(10)被加捻的情况下，镍镀层(110)通过密合层(120)而不会从金属线(100)上剥落。

技术领域

本发明涉及锯线及具备该锯线的切断装置。

背景技术

以往，已知有使用由钢琴丝形成的线来切割硅锭的多线锯(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-213111号公报

发明内容

发明所要解决的问题

就线锯而言，会产生线的线径程度的切削废渣。在上述以往的多线锯中，利用了由钢琴丝形成的线，但钢琴丝的细线化困难，现状是线径小于60μm的钢琴丝的制造困难，且由于钢琴丝的弹性模量为150GPa～250GPa，所以即使能够细径化也会在切割时产生挠曲。因此，细径化后的钢琴丝不适合线锯的切割。

因此，考虑使用与钢琴丝不同的材料来制造锯线。然而，在像固定磨粒方式那样使锯线与磨粒预先固着的情况下，若锯线与磨粒的固着性低，则存在磨粒脱落而锋利度下降的问题。

于是，本发明的目的是提供与磨粒的密合性高的锯线及具备该锯线的切断装置。

用于解决问题的手段

为了达成上述目的，本发明的一方式所述的锯线是在表面附着有多个磨粒的锯线，其具备由钨或钨合金形成的金属线、设置于上述金属线的表面的镍镀层和设置于上述金属线与上述镍镀层的界面处的镍及钨的密合层，在上述锯线被加捻的情况下，上述镍镀层通过上述密合层而不会从上述金属线上剥落。

此外，本发明的一方式所述的切断装置具备上述锯线。

发明的效果

根据本发明，能够提供与磨粒的密合性高的锯线及具备该锯线的切断装置。

附图说明

图1是实施方式所述的切断装置的立体图。

图2是表示利用实施方式所述的切断装置的锭的切割的状况的截面图。

图3是实施方式所述的锯线的截面图。

图4是表示在实施方式所述的锯线的制造方法中制作经细线化的金属线的工序的状态推移图。

图5是表示在实施方式所述的锯线的制造方法中使磨粒固着于金属线上的工序的状态推移图。

图6是对实施方式所述的锯线加捻的加捻装置的示意图。

图7是表示就实施方式所述的锯线而言热处理的加热温度与镀层剥落的关系的图。

图8是表示实施方式所述的经加捻的锯线的图。

符号的说明

1 切断装置

10 锯线

100 金属线

110 镍镀层

120 密合层

130 金刚石粒子(磨粒)

具体实施方式