[发明专利]柔性基板及其制作方法

说明书

本发明公开了一种柔性基板及其制作方法，该制作方法包括：将柔性衬底卷绕到旋转装置上；控制柔性衬底旋转；将金属粒子沉积到柔性衬底的表面；金属粒子在柔性衬底表面形成金属膜。通过以上方法，使金属粒子在柔性衬底卷曲状态下沉积成膜，以吸收柔性基板平展后或者更加卷曲时金属膜自身的硬度带来的应力，保护金属膜不发生断裂现象，而且形成的金属膜也因为金属粒子的旋转沉积而薄厚均匀，避免了厚度不均造成的柔性衬底翘曲的现象。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种柔性基板及其制作方法。

背景技术

随着电子显示技术的不断发展，柔性显示装置(柔性TFT-LCD,柔性OLED等)以其质量轻，厚度小，寿命长，可弯曲等众多优点，成为了最具发展潜力的新一代显示技术。现在主流的柔性基板的柔性衬底主要包括超薄玻璃、金属类以及聚合物薄膜三大类，其中应用最多的是聚合物柔性衬底，如PI(聚酰亚胺)衬底材料，其良好的力学性能、优异的耐化性能、良好的光学透过率、可“卷对卷”生产等特点，成为现有柔性衬底的首选材料并得到广泛的重视。

但是，在柔性基板弯曲和展开的过程中，在柔性衬底上由金属膜蚀刻而来的金属线很可能由于应力得不到充分吸收而发生断裂，极易导致整个柔性基板发生故障，且该种故障排查困难，维修不易，致使柔性基板的故障率较高。而且，金属膜薄厚不均匀，也造成了柔性衬底翘曲的现象。

发明内容

本发明主要提供一种柔性基板及其制作方法，旨在解决目前的柔性基板在弯曲或展开时，其金属膜层因应力无法被充分吸收而发生断裂和金属膜薄厚不均匀造成的柔性衬底翘曲的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：提供一种柔性基板的制作方法，所述方法包括：

将柔性衬底卷绕到旋转装置上；

控制所述柔性衬底旋转；

将金属粒子沉积到所述柔性衬底的表面；及

所述金属粒子在所述柔性衬底表面形成金属膜。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一种技术方案是：提供一种柔性基板，所述柔性基板通过上述柔性基板的制作方法制得。

本发明的有益效果是：通过将柔性衬底卷绕到旋转装置上，使金属粒子在柔性衬底卷曲状态下沉积成膜，以吸收柔性基板平展后或者卷曲时金属膜自身的硬度带来的应力，保护金属膜不发生断裂现象，而且金属膜也因为金属粒子的旋转沉积而薄厚均匀，避免了厚度不均造成的柔性衬底翘曲的现象。

附图说明

图1是本发明柔性基板的制作方法的流程示意图；

图2是本发明柔性基板的制作方法的操作示意图；

图3是本发明柔性基板的结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1，是本发明柔性基板的制作方法的流程示意图。如图1所示，本发明柔性基板的制作方法包括如下步骤：

步骤S1：将柔性衬底2卷绕到旋转装置1上；

步骤S2：控制柔性衬底2旋转；

步骤S3：将金属粒子沉积到柔性衬底2的表面；

步骤S4：金属粒子在柔性衬底2表面形成金属膜3；

步骤S5：将柔性衬底2远离金属膜3的表面吸附在平坦基板上；

步骤S6：在金属膜3上涂布、曝光、显影；

步骤S7：解除真空吸附以将柔性衬底2与平坦基板分离。