[发明专利]一种升降式硅片清洗辅助装置及其清洗方法

权利要求书

1.一种升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，该装置包括箱体(1)，在所述箱体(1)内部设有升降装置，在所述箱体(1)的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，

所述升降装置包括驱动电机(3)、丝杆(4)、连接杆(5)、连接套筒(6)，所述驱动电机(3)设置在箱体(1)的底端面上，所述驱动电机(3)通过齿轮驱动丝杆(4)旋转，在所述丝杆(4)的下部设有限位槽(7)，在所述限位槽(7)中设有与限位槽(7)相匹配的限位块(8)，在所述丝杆(4)上设有螺母(9)，所述螺母(9)的内螺纹与丝杆(4)之间螺纹连接，所述螺母(9)位于限位槽(7)的上方，所述螺母(9)与连接套筒(6)固定连接，所述连接杆(5)设置在连接套筒(6)内部，所述连接杆(5)与连接套筒(6)之间固定连接，在所述连接套筒(6)上设有延伸板(10)，在所述延伸板(10)上设有滑块固定孔(11)，在延伸板(10)上通过滑块固定孔(11)固定有滑块(12)，所述滑块(12)与设置在箱体(1)内部的滑轨(2)相匹配；

所述连接杆(5)的上端伸出箱体(1)的上端部与调整架(13)的一端相连，所述调整架(13)通过第一连接板(14)固定在连接杆(5)的顶端，所述调整架(13)的另一端设有连接轴(15)，所述硅片承载花篮的支架包括第二连接板(16)和承载底板(17)，在所述第二连接板(16)的背面设有固定套筒(18)，固定套筒(18)套设并固定在连接轴(15)上，所述承载底板(17)上设有漏水孔(19)和凹槽，所述承载底板(17)上放置有硅片承载花篮(20)，在所述硅片承载花篮(20)底部设有凸块，所述凸块和凹槽相互配合将硅片承载花篮(20)嵌设在承载底板(17)上；

该方法包括以下步骤：

步骤1，开启驱动电机(3)，驱动电机(3)驱动齿轮转动，通过传动齿轮带动丝杆(4)旋转，在限位槽(7)和限位块(8)的配合下将丝杆(4)定位并 使丝杆(4)沿轴向旋转，

步骤2，丝杆(4)的轴向旋转带动螺母(9)在丝杆上进行上下运动，螺母(9)的上下运动从而带动连接套筒(6)的上下运动，连接套筒(6)的上下运动带动连接杆(5)上下运动，从而带动硅片承载花篮的支架进行上下运动，

步骤3，将盛放有待清洗硅片的硅片承载花篮(20)放置在承载底板(17)的倾斜底座(25)上，随着丝杆(4)的轴向旋转从而带动硅片承载花篮(20)的上下运动，硅片承载花篮(20)的上下运动带动待清洗硅片在清洗槽中上下运动，清洗液和待清洗的硅片之间产生相对运动，将待清洗硅片清洗干净。

2.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，所述限位槽(7)为环形限位槽、梯形限位槽或V型限位槽。

3.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，所述箱体(1)的上端面和连接杆(5)的接触面之间设有密封环(21)。

4.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，所述箱体(1)的上端面上设有正压保护进气口(22)。

5.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，所述滑轨(2)的上端和下端均设有位置传感器(23)。

6.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，所述箱体(1)的侧壁上设有连接架(24)。

7.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，所述承载底板(17)上设有用于放置硅片承载花篮(20)的倾斜底座(25)，所述倾斜底座(25)的倾斜度不大于10°。

8.根据权利要求1所述的升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，所述固定套筒(18)和第二连接板(16)之间设有加强肋板(27)。

9.根据权利要求1-8任一所述的升降式硅片清洗辅助装置的使用方法，其特征在于，所述硅片承载花篮(20)上设有提手(26)。