[发明专利]锯线及切断装置

说明书

本发明提供锯线及切断装置。锯线(10)具备由铼和钨的合金构成的金属线；金属线的铼的含有率是0.1wt％以上且10wt％以下；金属线的弹性模量是350GPa以上且450GPa以下；金属线的拉伸强度是3500MPa以上；金属线的线径是60μm以下。

技术领域

本发明涉及锯线及具备该锯线的切断装置。

背景技术

以往，已知有使用由钢琴线构成的线将硅锭进行切片的多线锯(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2008－213111号公报

发明内容

线锯中，发生线的线径量的切削渣。在上述以往的多线锯中，利用由钢琴线构成的线，但钢琴线的细线化较困难，现状下难以制造线径比60μm小的钢琴线，并且由于钢琴线的弹性模量是150GPa～250GPa，所以即使能够细径化，也会在切片时发生挠曲。因此，细径化的钢琴线不适合于线锯的切片。

所以，本发明的目的是提供一种比钢琴线细且具有钢琴线的约2倍的弹性模量、具有与钢琴线同等以上的拉伸强度的锯线及具备该锯线的切断装置。

为了达到上述目的，有关本发明的一技术方案的锯线具备由铼和钨的合金构成的金属线；上述金属线的铼的含有率是0.1wt％以上且10wt％以下；上述金属线的弹性模量是350GPa以上且450GPa以下；上述金属线的拉伸强度是3500MPa以上；上述金属线的线径是60μm以下。

此外，有关本发明的一技术方案的锯线具备由掺杂有钾的钨构成的金属线；上述金属线的钾的含有率是0.005wt％以上且0.010wt％以下；上述金属线的弹性模量是350GPa以上且450GPa以下；上述金属线的拉伸强度是3500MPa以上；上述金属线的线径是60μm以下。

并且，也可以是，上述金属线的拉伸强度是5000MPa以下。

并且，也可以是，上述金属线的线径是均匀的。

此外，有关本发明的一技术方案的切断装置具备上述锯线。

并且，也可以是，上述切断装置还具备对作用于上述锯线的张力进行缓和的张力缓和装置。

发明效果

根据本发明，能够提供一种比钢琴线细且具有钢琴线的约2倍的弹性模量、具有与钢琴线同等以上的拉伸强度的锯线及具备该锯线的切断装置。

附图说明

图1是有关实施方式的切断装置的立体图。

图2是表示由有关实施方式的切断装置进行的锭的切片的状况的剖视图。

图3是表示有关实施方式的锯线的制造方法的状态转变图。

标号说明

1 切断装置

4 张力缓和装置

10 锯线

具体实施方式

以下，使用附图对有关本发明的实施方式的锯线及切断装置详细地说明。另外，以下说明的实施方式都表示本发明的一具体例。因而，在以下的实施方式中表示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置及连接形态、步骤、步骤的顺序等是一例，不是限定本发明的主旨。因此，关于以下的实施方式的构成要素中的在表示本发明的最上位概念的独立权利要求中没有记载的构成要素，设为任意的构成要素而进行说明。

此外，各图是示意图，并不一定是严格图示的。因而，例如在各图中比例尺等也并不一定一致。此外，在各图中，对实质上相同的结构赋予相同的标号，重复的说明省略或简略化。