[发明专利]生物检测系统

权利要求书

1.一种生物检测系统，适用于检测包含数个目标生物粒子的液体样本，所述生物检测系统包含一个捕捉装置，该捕捉装置包括一个壳体结构、一个被设置于所述壳体结构上的输入口、一个被设置于所述壳体结构上的输出口、一个被容置于所述壳体结构内的单晶片、一层形成于所述单晶片上的作用层，其特征在于：

所述壳体结构包括

一个下壳体，具有

一个下主表面，以及

一个下贴合面，在一个横向方向上相反于所述下主表面且具有一个下凹槽，所述下凹槽向下延伸而终止于一个内底面且包括一个被配置以容许所述液体样本通过的上子凹槽以及一个下子凹槽；以及

一个上壳体，具有

一个顶主表面，以及

一个上贴合面，在所述横向方向上相反于所述顶主表面且具有一个上凹槽，所述上凹槽朝所述顶主表面延伸而终止于一个内顶面且被配置以容许所述液体样本通过；

所述输入口被设置于所述下凹槽的上游且用于将所述液体样本引入至所述下凹槽的上子凹槽内；

所述输出口被设置于所述下凹槽的下游且在一个纵向方向上相反于所述输入口；

所述单晶片被配置为配套地嵌入所述下子凹槽，且包括一个基板以及数个分散的纳米尺寸的结构物，所述分散的纳米尺寸的结构物在所述纵向方向上相间隔设置且每一个分散的纳米尺寸的结构物是自所述基板向上延伸而终止于一顶端；以及

所述作用层形成于所述分散的纳米尺寸的结构物中每一者的所述顶端且用于捕捉所述目标生物粒子。

2.根据权利要求1所述的生物检测系统，其特征在于：所述分散的纳米尺寸的结构物是通过一包括下列步骤的方法所形成，

步骤(a)，在所述基板上提供一层可蚀刻层；

步骤(b)，遮蔽所述可蚀刻层上的数个区域，所述区域中的每一者对应于所述分散的纳米尺寸的结构物中的每一者的所述顶端；以及

步骤(c)，朝着所述基板向下蚀刻所述可蚀刻层的数个非遮蔽区域，俾以形成所述分散的纳米尺寸的结构物，

其中，所述步骤(b)包括子步骤如下，

步骤(b1)，在所述可蚀刻层上施加一层包含光阻剂的层；

步骤(b2)，令所述包含光阻剂的层经由一个图案化的屏蔽进行曝光，并进行显影以在所述可蚀刻层上形成一层包含所述光阻剂的图案化层，俾以定义出所述非遮蔽区域，且所述非遮蔽区域上未设置有所述光阻剂；

步骤(b3)，在所述非遮蔽区域上形成一层包含银催化剂的层；以及

步骤(b4)，掀离所述包含所述光阻剂的图案化层，俾以在所述可蚀刻层的所述非遮蔽区域上留下所述银催化剂；

以及所述步骤(c)包括子步骤如下，

步骤(c1)，将在所述子步骤(b4)中所得到的所述可蚀刻层浸泡于包含HF以及H₂O₂的蚀刻水溶液中，以令所述可蚀刻层的所述非遮蔽区域进行银催化化学蚀刻反应，所述银催化化学蚀刻反应会朝着所述基板向下蚀刻，俾以形成所述分散的纳米尺寸的结构物，所述分散的纳米尺寸的结构物具有因为并行的侧向蚀刻而造成的经减弱的机械强度；以及

步骤(c2)，自所述可蚀刻层移除所述银催化剂。

3.根据权利要求2所述的生物检测系统，其特征在于：所述可蚀刻层与所述基板是一体成形地形成。

4.根据权利要求1所述的生物检测系统，其特征在于：所述分散的纳米尺寸的结构物是呈阵列排列。

5.根据权利要求2所述的生物检测系统，其特征在于：所述分散的纳米尺寸的结构物中的每一者具有一个在所述基板与所述顶端之间延伸的外表面，且所述外表面因为所述并行的侧向蚀刻而形成有数个孔洞。

6.根据权利要求5所述的生物检测系统，其特征在于：所述孔洞中的每一者具有范围落在500pm至50nm的尺寸。

7.根据权利要求1所述的生物检测系统，其特征在于：所述单晶片与所述下壳体是一体成形地形成。