[发明专利]一种电子烟雾化芯片的制备方法

权利要求书

1.一种电子烟雾化芯片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

①在压电基底(1)上均匀旋涂一层负性光刻胶(5)，并将涂胶后的压电基底放置于80～90℃条件下烘焙3～5分钟；所述压电基底(1)为片状，所述压电基底(1)为压电单晶片、压电陶瓷片、压电聚合物片或压电复合物片中的一种；

②将预置有叉指换能器图样的掩膜板(6)覆盖在步骤①处理后的压电基底上，采用波长为200～450nm的紫外光照射所述掩膜板(6)进行曝光处理；

③除去步骤②受光照射部分的负性光刻胶，然后放置于130～200℃条件下烘焙25～30分钟；

④在步骤③处理后的压电基底上镀覆金属薄膜(7)，所述金属薄膜(7)为金、银、铜或铝薄膜中的一种；

⑤清洗步骤④处理后的压电基底，将未被光照射部分的负性光刻胶(51)及附着其上的金属薄膜除去，得到叉指换能器(2)；所得到的叉指换能器(2)为双手手指交叉状的多对条，条与条之间有间隔；

⑥将步骤⑤的叉指换能器(2)与压电基底(1)电连接，并在所述压电基底(1)外侧增设信号接口(3)，即得到所述的电子烟雾化芯片。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述压电基底(1)为Y切X 128.68°方向的铌酸锂，其厚度为250nm～600nm。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述叉指换能器(2)相互交叉的条的对数为25～30对；所述条与条之间相互平行交叉重叠长度为0.5～3mm。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述叉指换能器(2)中所述条的宽度为a，相邻两根条的之间的间隔为b，a和b满足如下公式：f＝v_s/2(a+b)，其中v_s为声表面波在压电基底表面上的传播速度，f为激励频率；f满足其中γ为烟油表面张力，ρ为烟油密度，d为所要求的烟油液滴雾化形成气溶胶的粒径。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤①之前还包括将压电基底(1)依次用丙酮、乙醇和去离子水超声清洗，并用氮气进行风干步骤。