[发明专利]一种可延展的屈曲结构有机薄膜功能器件及其制备方法

权利要求书

1.一种可延展的屈曲结构有机薄膜功能器件，其特征在于为三层结构，顶层为Au电极，中间层为有机功能层，底层为Au电极；

所述有机功能层为P3HT/PVDF-TrFE、PVDF-TrFE、P3HT或PVDF-TrFE-CFE；

制备方法包括如下步骤 ：

（1）溶液配制：配制PVA和有机功能层溶液；

（2）牺牲层制备：在洁净的玻璃基片上，用旋涂法制备PVA层，旋涂转速1000~3000 r/min，时间90~180 s，使得PVA层的厚度控制在200~400 nm；

（3）底层电极制备：使用热蒸镀方法，蒸镀速率为0.4~0.5Å/s，在PVA薄膜层上根据器件需要，蒸镀不同图案的Au电极，Au电极厚度为40~60 nm；

（4）有机功能层制备：依据应用需要，在底层Au电极上旋涂相应的有机功能层，并对有机功能层进行热处理；

（5）顶层电极制备：在有机功能层上使用热蒸镀方法制备40~60 nm的Au顶层电极，得到完整的有机薄膜功能器件；

（6）器件微加工：将有机薄膜功能器件固定于高精度位移台的工作平台，通过高精度步进电机控制平台沿X轴移动，用玻璃切割器在Y轴方向进行切割，将有机薄膜功能器件加工为所需结构；

（7）器件剥离：在有机薄膜功能器件的有效位置上贴上PDMS，将其浸泡于90~95℃ 的超纯水中； PVA牺牲层充分溶解，最终使黏有PDMS的有机薄膜功能器件从玻璃基片上脱落；

（8）转印：将预拉伸的柔性衬底Ecoflex用紫外光照射6~15分钟，把有机薄膜功能器件转印至Ecoflex上，引出电极，卸载即可得到可延展的屈曲结构有机薄膜功能器件。