[发明专利]磁控管驱动机构、磁控源和磁控溅射设备

权利要求书

1.一种磁控管驱动机构，其特征在于，包括：

导轨；

移动件，设置在所述导轨上且能沿所述导轨往复移动，所述移动件用于与磁控管连接；

升降组件，与所述移动件连接，所述升降组件能够作往复移动，以带动所述移动件在所述导轨上移动，以使得所述磁控管对应于靶材的不同区域；所述升降组件包括升降轴和第一连杆，所述移动件包括第一滑块，所述第一连杆的一端与所述升降轴可转动连接，所述第一连杆的另一端与所述第一滑块可转动连接；并且，所述升降轴作往复移动，以通过所述第一连杆带动所述第一滑块沿所述导轨移动，以使得所述磁控管对应于靶材的不同区域；

旋转组件，与所述导轨连接，所述旋转组件能够转动，以驱动对应于靶材的不同区域处的磁控管绕靶材的中心轴转动。

2.根据权利要求1所述的磁控管驱动机构，其特征在于，所述旋转组件包括：

固定件，固定设置在所述导轨上；

旋转轴，与所述固定件连接；并且，

所述旋转轴带动所述固定件和所述导轨一起转动，以使得对应于靶材不同区域处的磁控管绕靶材的中心轴转动。

3.根据权利要求2所述的磁控管驱动机构，其特征在于，所述旋转轴与所述靶材的中心轴同轴设置。

4.根据权利要求2所述的磁控管驱动机构，其特征在于，所述旋转轴上设置有贯穿其轴线方向的通孔，所述升降轴安装在所述通孔中，且所述升降轴能沿所述通孔作往复移动。

5.根据权利要求2所述的磁控管驱动机构，其特征在于，

所述固定件包括；

固定部，与所述旋转轴固定连接；

第一安装部，设置在所述固定部上，所述第一安装部上设置有贯穿其厚度的至少一个第一安装孔；

第二安装部，设置在所述固定部上，且与所述第一安装部相对间隔设置，所述第二安装部上设置有贯穿其厚度的至少一个第二安装孔，所述第二安装孔与其所对应的所述第一安装孔同轴设置；

所述导轨穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔，以与所述第一安装部和所述第二安装部固定连接。

6.根据权利要求5所述的磁控管驱动机构，其特征在于，

所述第一安装部上间隔设置有两个所述第一安装孔；

所述第二安装部上间隔设置有两个所述第二安装孔；

所述导轨包括：

第一导轨，穿过相对应的其中一个所述第一安装孔和所述第二安装孔；

第二导轨，与所述第一导轨相对间隔设置，所述第二导轨穿过相对应的另外一个所述第一安装孔和所述第二安装孔；

所述第一滑块穿设在所述第一导轨和所述第二导轨中。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的磁控管驱动机构，其特征在于，所述导轨上设置有第一限位件和第二限位件，当所述旋转组件包括第一安装部和第二安装部时，所述第一安装部和所述第二安装部形成所述第二限位件；

所述移动件与所述第一限位件抵接时，所述磁控管对应于靶材的边缘区域，所述移动件与所述第二限位件抵接时，所述磁控管对应于靶材的中央区域。

8.根据权利要求1至6中任意一项所述的磁控管驱动机构，其特征在于，所述移动件包括第二滑块，所述升降组件还包括第二连杆；

所述第二连杆的一端与所述升降轴可转动连接，所述第二连杆的另一端与所述第二滑块可转动连接，所述第二滑块固定设置有配重。

9.一种磁控源，其特征在于，包括：

靶材；

磁控管，所述磁控管位于所述靶材上方，且固定在移动件上；

磁控管驱动机构，所述磁控管驱动机构为根据权利要求1-8任意一项所述的磁控管驱动机构。

10.一种磁控溅射设备，其特征在于，包括权利要求9所述的磁控源。