[发明专利]供液装置

权利要求书

1.一种供液装置，用于向置换腔室和清洗腔室供应清洗液，其特征在于，包括容器和第一隔板，所述容器的内壁包括底壁和侧壁，所述第一隔板与所述容器的底壁和侧壁连接，所述第一隔板的上部设有第一开口，且在竖直方向上所述第一隔板的第一开口的高度低于所述容器的侧壁的高度，以使所述容器被所述第一隔板分隔为通过所述第一隔板的第一开口联通的第一容腔和第二容腔，所述供液装置还包括厂务进液管道，所述厂务进液管道连接至所述第二容腔，所述第一容腔与所述置换腔室之间连接有第一进液管道，所述第二容腔与所述清洗腔室之间连接有第二进液管道，所述容器与所述清洗腔室之间连接有第二排液管道，所述厂务进液管道向所述第二容腔输入清洗液，所述第二容腔内的清洗液经所述第一隔板的第一开口处溢流至所述第一容腔，所述第一容腔内的清洗液经所述第一进液管道输入所述置换腔室，所述第二容腔内的清洗液经所述第二进液管道输入所述清洗腔室，所述清洗腔室的清洗液经所述第二排液管道回流至所述容器继续利用。

2.如权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述第一容腔与所述置换腔室之间连接有第一排液管道，所述置换腔室内的清洗液经所述第一排液管道回流至所述第一容腔继续利用，所述第二排液管道连接在所述第二容腔与所述清洗腔室之间，以使所述清洗腔室内的清洗液经所述第二排液管道回流至所述第二容腔，所述第一容腔还连接有厂务排液管道，所述厂务排液管道用于将所述第一容腔内的清洗液排出。

3.如权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述供液装置还包括控制件，所述厂务进液管道上设有第一阀门，所述第一进液管道上设有第一液泵，所述第二进液管道上设有第二液泵，所述控制件电连接至所述第一阀门、所述第一液泵和所述第二液泵，以控制所述供液装置的运行状态。

4.如权利要求3所述的供液装置，其特征在于，所述第一进液管道上设有第三阀门、所述第二进液管道上设有第五阀门、所述第二排液管道上设有第六阀门，所述控制件电连接至所述第三阀门、所述第五阀门和所述第六阀门。

5.如权利要求4所述的供液装置，其特征在于，所述第三阀门设置于所述第一液泵远离所述第一容腔的一侧，所述第五阀门设置于所述第二液泵远离所述第二容腔的一侧。

6.如权利要求5所述的供液装置，其特征在于，所述供液装置还包括第三进液管道，所述第三进液管道一端连接至所述厂务进液管道，另一端连接至所述第二进液管道上所述第五阀门远离所述第二液泵的一侧，所述第三进液管道上还设有第七阀门，所述第七阀门电连接至所述控制件。

7.如权利要求3所述的供液装置，其特征在于，所述第一容腔内设有第一传感器和第二传感器，所述第一传感器的设置位置比所述第二传感器的设置位置更靠近所述容器的底壁，所述第二传感器的设置位置低于所述第一隔板的第一开口在竖直方向上的高度，所述第一传感器用于检测所述第一容腔内的清洗液的最低位置，所述第二传感器用于检测所述第一容腔内的清洗液的最高位置，所述第一传感器和所述第二传感器与所述控制件电连接，以将所述第一容腔内的清洗液的位置转换为电信号传递至所述控制件。

8.如权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述容器内还设有与所述容器的底壁和侧壁连接的第二隔板，且所述第二隔板与所述第一隔板不交叉设置，以将所述容器分隔为所述第一容腔、所述第二容腔和第三容腔，所述第二隔板上部设有第二开口，所述第二隔板的第二开口在竖直方向上的高度低于所述第一隔板的第一开口，所述第三容腔与所述置换腔室之间连接有第三排液管道，所述第二排液管道连接在所述第一容腔与所述清洗腔室之间，所述第一容腔内的清洗液在所述第二隔板的第二开口处溢流至所述第三容腔，所述清洗腔室内的清洗液经所述第三排液管道回流至所述第三容腔继续利用。

9.如权利要求8所述的供液装置，其特征在于，所述供液装置还包括第四进液管道，所述第四进液管道连接在所述第三容腔与所述置换腔室之间，所述第三容腔内的清洗液经所述第四进液管道输送至所述置换腔室。

10.如权利要求8所述的供液装置，其特征在于，所述第一容腔内设有第三传感器，所述第三容腔内设有第四传感器，所述第三传感器用于检测所述第一容腔内的清洗液的最低位置，所述第四传感器设置的位置低于所述第二隔板的第二开口在竖直方向上的高度，所述第四传感器用于检测所述第三容腔内的清洗液的最高位置。