[发明专利]一种高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法在审
| 申请号： | 201810170086.0 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN108354630A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 费春龙;刘治勇;林鹏飞;李迪;杨银堂 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学;陕西博纵电子科技有限公司 |
| 主分类号： | A61B8/12 | 分类号： | A61B8/12 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 陈新胜 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电阵元 环氧树脂 环氧树脂层 阵元 超声 换能 开槽 内窥 填充 切割 环氧树脂固化 背衬层表面 导线接触 固定导线 均匀包裹 工艺流程 初始阵 换能器 良品率 匹配层 切割缝 槽深 覆盖 环氧 切槽 涂覆 固化 制备 制作 装配 | ||
1.一种高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法，其特征在于，包括如下操作：
S1：制备初始阵元；
S2：将初始阵元切割成各个相互分离的阵元块，采用环氧树脂对阵元块之间的切割缝进行填充并对阵元块的匹配层表面进行覆盖，待环氧树脂固化后再在阵元块的背衬层表面涂覆环氧树脂形成下环氧树脂层，下环氧树脂层固化后，在下环氧树脂层的表面进行开槽，开槽的槽深大于下环氧树脂层的厚度，然后切割得到各个压电阵元，压电阵元是外表面被环氧树脂均匀包裹阵元块，开槽在压电阵元的下表面上形成长条形的卡槽，卡槽的中心线与阵元块的中心处于同一铅垂面上。
2.根据权利要求1所述的高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法，其特征在于：初始阵元包括压电材料，压电材料的上、下表面分别设置上电极和下电极，上电极上设置匹配层，下电极上设置背衬层，压电材料为压电单晶材料PMN-PT构成。
3.根据权利要求2所述的高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法，其特征在于：背衬层为导电材料E-solder 3022构成。
4.根据权利要求2所述的高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法，其特征在于：匹配层包括上电极上设置的第一匹配层以及第一匹配层上设置的第二匹配层，第一匹配层由掺有金属颗粒的环氧树脂构成，第二匹配层由高分子聚合物构成。
5.根据权利要求1所述的高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法，其特征在于：阵元块的大小为0.4mm×0.4mm，相邻阵元块之间的间距为0.1mm。
6.根据权利要求1所述的高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法，其特征在于：压电阵元上环氧树脂的厚度为0.025m。
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