[发明专利]一种自然光老化高加速试验系统用冷光反射镜及其镀制方法

权利要求书

1.一种自然光老化高加速试验系统用冷光反射镜，其特征在于，包括平面石英玻璃基片以及覆盖于所述平面石英玻璃基片表面上、由两种不同材质的高折射率膜和一种低折射率膜组成的非周期多层膜，所述非周期多层膜的组合方式为a（0.5H₁L0.5H₁）/b（0.5H₂L0.5H₂），其中a、b为周期系数，H₁、H₂分别为两种不同材质的高折射率膜，L为低折射率膜。

2.根据权利要求1所述的自然光老化高加速试验系统用冷光反射镜，其特征在于所述非周期多层膜的周期系数a为11～15，周期系数b为8～11。

3.根据权利要求1所述的自然光老化高加速试验系统用冷光反射镜，其特征在于，所述高折射率膜H₁的膜料采用Ta₂O₅，高折射率膜H₂的膜料采用TiO₂，所述低折射率膜的膜料采用SiO₂。

4.根据权利要求3所述的自然光老化高加速试验系统用冷光反射镜，其特征在于，所述H₁的单层膜层厚度为16～66nm，所述H₂的单层膜层厚度为22～75nm，所述L的单层膜层厚度为38～180nm。

5.根据权利要求4所述的自然光老化高加速试验系统用冷光反射镜，其特征在于，所述的非周期多层膜周期系数a为12，周期系数b为10，所述非周期多层膜共45层，膜的总厚度为3034.33nm。

6.权利要求1～5任一项所述的自然光老化高加速试验系统用冷光反射镜的镀制方法，采用e型电子枪蒸发与离子源辅助沉积工艺，其特征在于，包括以下步骤：

（1）基片清洁 采用超声波清洗机清洁平面石英玻璃基片，去除石英玻璃基片表面的灰尘、抛光粉、印痕等；

（2）装机 开启并清洁真空室，依据所设计的非周期多层膜的膜层次序添加高折射率膜料和低折射率膜料至坩埚中，然后将石英玻璃基片安装至球形镀膜夹具上，并安装好修正挡板；

（3）抽真空、加热 开启真空泵对真空室进行抽真空，同时开启加热系统，使真空室内的温度一直稳定在210～230℃；

（4）开启离子源 当真空室里的真空度达到4.0×10^-3Pa以上时，开启流量计并充入氧气，同时开启离子源，对石英玻璃基片表面进行轰击；

（5）镀膜 保持真空泵的开启及氧气的充入，开启电子枪，在石英玻璃基片表面按所设计的非周期多层膜的膜层次序交替沉积镀膜，使用膜厚控制仪对膜层厚度进行监控；

（6）冷却 镀制结束后，待真空室自然冷却至95～105℃时，关闭真空泵，开启真空室门，取出冷光反射镜；

（7）退火处理 将取出的冷光反射镜放入290～310℃的高温烘箱中恒温烘烤1.5～2.5小时，使膜层结构重组，应力释放。

7.根据权利要求6所述的自然光老化高加速试验系统用冷光反射镜的镀制方法，其特征在于，在步骤（5）所述H₁和H₂膜层的镀制过程中，真空度不高于1.8×10^-2Pa。