[发明专利]感光性组合物、硬化膜、彩色滤光片、显示元件、固体摄像元件及发光二极管发光体在审

专利信息
申请号: 201810170391.X 申请日: 2018-02-28
公开(公告)号: CN108628097A 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 尾崎刚史 申请(专利权)人: 捷恩智株式会社
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/004;C08F220/32;C08F222/14;C08F2/06;C08G73/10
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 陶敏;臧建明
地址: 日本东京千代*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性组合物 聚合性双键 硬化膜 发光二极管发光体 固体摄像元件 彩色滤光片 聚酯酰胺 显示元件 多元羟基化合物 耐热性 光聚合引发剂 环氧化合物 环氧硬化剂 四羧酸二酐 耐溶剂性 有机溶剂 解析性 密接性 平坦性 二胺
【说明书】:

本发明涉及一种感光性组合物、硬化膜、彩色滤光片、显示元件、固体摄像元件及发光二极管发光体。所述感光性组合物包含聚酯酰胺酸、具有聚合性双键的化合物、光聚合引发剂、环氧化合物、及环氧硬化剂,所涉及的感光性组合物中,所述聚酯酰胺酸是通过使四羧酸二酐、二胺、及多元羟基化合物作为必需的原料成分进行反应而获得,而且,所述具有聚合性双键的化合物包含在每一分子中含有两个以上的聚合性双键且分子量不足1,000的化合物、及具有聚合性双键且分子量为1,000以上的化合物。本发明的感光性组合物可形成不需要极性高的有机溶剂,而透明性、耐热性、耐溶剂性、密接性、平坦性、及解析性优异的硬化膜。

技术领域

本发明涉及一种在电子零件中的绝缘材料、半导体装置中的钝化膜、缓冲涂膜、层间绝缘膜或平坦化膜,或者显示元件中的层间绝缘膜或彩色滤光片用保护膜等的形成中所使用的感光性组合物、硬化膜、彩色滤光片、显示元件、固体摄像元件及发光二极管发光体。进而,涉及一种使用所述感光性组合物而形成的透明膜、及具有所述膜的电子零件。

背景技术

在显示元件等元件的制造步骤中,有时进行有机溶剂、酸、碱溶液等各种化学品处理,或者在通过溅射(sputtering)而成膜配线电极时,将表面局部地加热为高温。因此,有时为了防止各种元件的表面的劣化、损伤、变质而设置表面保护膜。对于这些保护膜,要求可耐受如上所述的制造步骤中的各种处理的各特性。具体而言,要求耐热性、耐溶剂性·耐酸性·耐碱性等耐化学品性、耐水性、对玻璃等基底基板的密接性、透明性、耐划伤性、平坦性、耐光性等。另外,在推进显示元件的高视角化、高速响应化、高精细化、广色域化等高性能化的现状下,在用作彩色滤光片保护膜的情况下,期望透明性、耐热性、耐溶剂性及密接性得到提高的材料。

用以形成这些保护膜的硬化性组合物的种类可大致分为感光性组合物、热硬化性组合物。在形成膜时通过高温加热使热硬化性组合物完全硬化,因此,即使在其后的步骤中存在有加热至高温的情况,产生的挥发成分也少,耐热性优异。作为具有所述优异特性的热硬化性的保护膜材料,存在有聚酯酰胺酸组合物(例如,参照专利文献1)。然而,热硬化性组合物在制造屏分割时无法形成刻线(scribe line)而大量地产生保护膜的细屑,因此在其后需要进行高度的屏洗净步骤。

另一方面,感光性组合物包含具有光聚合性基的聚合物或寡聚物或者单体与光聚合引发剂,且因以紫外线为代表的光的能量而引起化学反应,并进行硬化。感光性组合物例如可容易地形成用于制造屏分割时的刻线,因此存在有不产生保护膜的细屑等优点,相反的,与由热硬化性组合物所形成的保护膜相比,由通常的感光性组合物所形成的保护膜的耐热性不充分。

近年来,需要耐热性、耐溶剂性的保护膜的需求逐渐增加,进而需要微细图案形状的保护膜的需求也逐渐增加。由此,谋求可形成耐热性、耐溶剂性优异的保护膜且可形成微细图案的感光性组合物。

作为可形成具有非常优异的耐热性的保护膜的感光性组合物,存在有聚酰亚胺前体组合物(例如,参照专利文献2)、可溶性聚酰亚胺组合物(例如,参照专利文献3)。然而,在任何感光性组合物中,可使所获得的聚酰亚胺前体组合物或可溶性聚酰亚胺组合物溶解的有机溶剂均受到限定,均需要极性非常高的有机溶剂。

作为溶解聚酰亚胺前体组合物、可溶性聚酰亚胺组合物等的极性高的有机溶剂,可列举:吡咯烷酮系、亚砜系、甲酰胺系、乙酰胺系、酚系、四氢呋喃、二噁烷、γ-丁内酯等。

特别是在将这些感光性组合物用作彩色滤光片保护膜的情况下,若含有这些极性高的有机溶剂,则会渗入基底的彩色滤光片层,例如像素中所含有的颜料或染料等着色材料溶出,因此难以制作高质量的显示元件。

作为将感光性组合物用于彩色滤光片的保护膜中的例子,存在有专利文献4,但本发明人等人使用这些专利文献中所记载的感光性组合物来形成保护膜并对密接性进行了确认,结果密接性并不令人充分满意,而期望进一步改良。

另外,不论感光性组合物、热硬化性组合物,都要求这些硬化性组合物在基底基板上的涂布性优异。

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