[发明专利]基板成膜机台及使用方法

说明书

本申请实施例公开了一种基板成膜机台及使用方法。该基板成膜机台，包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔；成膜腔室；中间腔室；第一泵组，第一泵组与第一基板承载进出腔相连；第二泵，第二泵与中间腔室相连；第三泵，第三泵与成膜腔室以及第二基板承载进出腔相连；至少一个备用泵，备用泵与成膜腔室以及第二基板承载进出腔相连，以在第三泵损坏的情况下，抽出成膜腔室以及第二基板承载进出腔内的空气；或者，备用泵与中间腔室相连，以在第二泵损坏的情况下，抽出中间腔室内的空气。本申请实施例提供的基板成膜机台，可以实现提高基板成膜机台的生产效率的目的。

技术领域

本申请实施例涉及显示面板制作技术，尤其涉及一种基板成膜机台及使用方法。

背景技术

随着科学技术的不断发展，电视、手机以及电脑等各种显示设备不断普及，并被广泛应用于住宅、商场、办公楼等各种需要进行信息显示的场所，为人们的生产和生活带来了便利。

现有的显示设备在制作过程中，为了使得显示面板具有较好的显示效果，阵列基板的成膜工艺往往需要在真空的环境中进行。而在实际制作过程中，用于完成阵列基板的成膜工艺的基板成膜机台往往包括多个与之匹配的泵，若某一个泵损坏，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修。无疑这将影响基板成膜机台的生产效率。

发明内容

本申请提供一种基板成膜机台及使用方法，以实现提高基板成膜机台的生产效率的目的。

第一方面，本申请实施例提供了一种基板成膜机台，该基板成膜机台包括：

第一基板承载进出腔；

第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；

成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；

中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；

第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；

第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；

第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；

至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。

在另一个实施例中，该基板成膜机台中，所述备用泵与所述中间腔室、所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔均相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。

在又一个实施例中，该基板成膜机台还包括：至少一个第一控制开关、至少一个第二控制开关、至少一个第三控制开关、和至少一个第四控制开关；

所述第一控制开关一端与所述第二泵连接，另一端与所述中间腔室连接；

所述第二控制开关一端与所述第三泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；

所述第三控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；

所述第四控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述中间腔室连接。

在又一个实施例中，该基板成膜机台中，所述第一泵组包括M个第一泵；

各所述第一泵均与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；