[发明专利]压电传感器

权利要求书

1.一种压电传感器，包括：

基材，具有腔室；

压电层，配置于所述基材上且包括：

位移区，位于所述腔室上方,所述位移区的第一面积介于所述腔室的第二面积的1/2至1/9之间；

多个感测区，环绕连接于所述位移区的外缘且位于所述腔室上方；

多个缝隙，分别成形于所述多个感测区中任两相邻的感测区之间，各所述缝隙连通所述腔室；

多个上电极，分别配置于各所述感测区的顶面；以及

多个下电极，分别配置于各所述感测区的底面；以及

所述压电传感器还包括：加强结构，配置于所述位移区的底部，

其中，当声波传递至所述压电层时，推动所述位移区与所述加强结构相对于所述基材产生位移，并使所述多个感测区产生变形以产生电信号，且所述多个缝隙可平衡所述腔室内的压力；

所述位移区以及所述多个感测区共同覆盖所述腔室。

2.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，还包括弹性层，配置于所述基材与所述压电层之间，且附着于所述位移区及所述多个感测区，所述加强结构成形于所述弹性层上且对应所述位移区的所述底部。

3.根据权利要求2所述的压电传感器，其特征在于，所述弹性层具有多个穿孔，各所述穿孔连通相应的各所述缝隙，以使各所述缝隙连通所述腔室。

4.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述腔室的形状为矩形，各所述缝隙的长度不大于所述腔室的对角长度的三分之一。

5.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述腔室的形状为矩形。

6.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述位移区及所述加强结构位于所述腔室的中央处，所述腔室的内缘与所述位移区的所述外缘之间配置各所述感测区。

7.根据权利要求6所述压电传感器，其特征在于，各所述感测区是朝向所述腔室的所述内缘而宽度渐增的梯形梁。

8.根据权利要求7所述的压电传感器，其特征在于，各所述上电极与各所述下电极均为对应各所述感测区设置的梯形电极。

9.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，各所述上电极的面积小于各所述下电极的面积。

10.根据权利要求1或2所述的压电传感器，其特征在于，所述加强结构包括多个延伸于所述腔室内的肋条。

11.根据权利要求1或2所述的压电传感器，其特征在于，所述加强结构包括延伸于所述腔室内的块体。

12.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述腔室、所述位移区及所述加强结构的形状为多边形。