[发明专利]一种钛材料电磁波完美吸收器

权利要求书

1.一种钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，包括：

衬底、钛膜、介质膜、钛颗粒结构层；

所述钛膜设置于衬底上方，所述介质膜设置于钛膜上方，所述钛颗粒结构层设置于介质膜上方；

所述钛颗粒结构层包括多个第一钛颗粒排和多个第二钛颗粒排，所述第一钛颗粒排和所述第二钛颗粒排交错排列；所述第一钛颗粒排包括多个第一尺寸的钛颗粒，所述第二钛颗粒排包括多个第二尺寸的钛颗粒；所述第一尺寸的钛颗粒小于所述第二尺寸的钛颗粒；所述第一尺寸的钛颗粒等间距排列，所述第二尺寸的钛颗粒等间距排列，相邻的所述第一尺寸的钛颗粒质心之间的距离与相邻的所述第二尺寸的钛颗粒质心之间的距离相等；每一个所述第二尺寸的钛颗粒位于相邻的两个第一尺寸的钛颗粒的垂直平分线上。

2.根据权利要求1所述的钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，所述钛颗粒结构为圆柱形结构。

3.根据权利要求1所述的钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，所述衬底的材质为硅片、玻璃、石英、聚二甲基硅氧烷中的一种。

4.根据权利要求1所述的钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，所述钛膜的厚度不低于100纳米。

5.根据权利要求1所述的钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，所述介质膜的材质为二氧化硅、二氧化钛、氟化镁、聚苯乙烯中的一种。

6.根据权利要求1所述的钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，所述第一尺寸的钛颗粒直径为120-210纳米；所述第二尺寸的钛颗粒直径为250-360纳米。

7.根据权利要求1所述的钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，所述第一尺寸的钛颗粒厚度为50-100纳米；所述第二尺寸的钛颗粒厚度为50-100纳米。

8.根据权利要求1所述的钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，相邻的所述钛颗粒质心之间的距离为400-500纳米。

9.根据权利要求1所述的钛材料电磁波完美吸收器，其特征在于，所述介质膜的厚度为40-80纳米。