[发明专利]液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质

说明书

本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，使从液滴排出头向工件去的液滴的着液精度提高。液滴排出装置(1)包括：载置工件(W)的工作台(40)；向载置于工作台(40)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(24)；使工作台(40)在主扫描方向Y轴方向上移动的Y轴直线电动机(13)；检测托架标记(25)的位置的位置检测器(72)；和控制部(150)，其计算由位置检测器(7)检测的检测位置和托架标记(25)的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对液滴排出头(24)的液滴的排出时机进行修正。

技术领域

本发明涉及对工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置，使用该液滴排出装置的液滴排出方法、程序和计算机存储介质。

背景技术

在现有技术中，作为使用功能液对工件进行描绘的装置，已知将该功能液以液滴来排出的喷射方式的液滴排出装置。液滴排出装置广泛应用在制造例如有机EL装置、滤波片、液晶显示装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等的电光装置(平板显示器：FPD)时等。

例如专利文献1中记载的液滴排出装置包括：排出功能液的液滴的功能液滴排出头(液滴排出头)；搭载有工件的工作站(工作台)；和沿导向用的一对支承座延伸的方向(主扫描方向)使工作台移动的移动机构(直线电动机)。然后，利用工作台相对液滴排出头使工件相对地移动，并且从液滴排出头对在工件上预先形成的隔堤排出功能液，由此进行对工件的描绘。

另外，在液滴排出装置的描绘动作中，使工件相对液滴排出头在主扫描方向上往复运动并适当地在与主扫描方向正交的副扫描方向上移动。通过这样的描绘动作，对工件整面进行描绘。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－198028号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

在上述的液滴排出装置中，在启动该液滴排出装置时，对从液滴排出头排出的液滴在工件着液时的着液位置进行调节。具体而言，使液滴着液在位置调节用的工件，测定该着液位置，计算测定的着液位置与目标位置的位置偏离量。然后，基于该位置偏离量，对例如液滴排出头的液滴的排出时机进行修正，还对工作台与液滴排出头的在主扫描方向和副扫描方向上的相对的移动进行修正。

但是，如此在启动液滴排出装置时进行了着液位置的调节后，由于例如液滴排出装置的部件、例如具有多个液滴排出头的托架的温度变化或者随时间变化等的要因，有时液滴排出头与工件上的隔堤的位置关系发生变化。在上述情况下，工件上的液滴的着液位置也发生偏移。

另外，近年来，通过液滴排出装置制造的电视等的产品，大型、高清晰(例如4K、8K)的成为主流，与工件的大型化对应的液滴排出装置也大型化。因此，成为不能无视由上述的要因导致的液滴排出头与隔堤的位置偏离即着液位置的位置偏离的情况。但是，由于像素尺寸的影响，该位置偏离的允许范围也能够缩小在例如±2μm以下。

因此，在如液滴排出装置那样需要进行精密控制的装置中，要求能够稳健地对应环境变化的着液位置的位置修正的技术。但是在现有技术中，在这样的精密台中，不能适当地修正上述的相对位置。

本发明是鉴于上述问题而作成的，其目的在于在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，使从该液滴排出头向工件去的液滴的着液精度提高。

用于解决技术问题的技术方案