[发明专利]中心环及真空泵

权利要求书

1.一种中心环，其是介于真空腔室与真空泵之间的中心环，其特征在于：包括：

环主体，包括嵌合于所述真空腔室的腔室侧嵌合部的第一环嵌合部、及嵌合于所述真空泵的泵侧嵌合部的第二环嵌合部，所述环主体是在圆周上的一处切断部或两处切断部经切断的一个环状构件或一对环状构件；

防尘土侵入构件，设置在所述环主体上；以及

防脱落构造，是在所述切断部使所述环主体的端面彼此具有间隙而配置，

所述间隙以下述式（3）表示：

πd-2×ΔC1≦π×（d-Smax）

-2×ΔC1≦-π×Smax

π×Smax≦2×ΔC1

0.5×π×Smax≦ΔC1……（3）

式（3）中，ΔC1是所述间隙；d是第二环嵌合部的直径；Smax是真空泵的泵侧嵌合部的直径与第二环嵌合部的直径的尺寸差的最大值。

2.根据权利要求1所述的中心环，其特征在于：

所述环主体的周长缩短了仅相当于所述间隙的长度。

3.根据权利要求1或2所述的中心环，其特征在于：

所述环主体包括对沿内径方向弯曲时的刚性进行调节的缺口部。

4.根据权利要求1或2所述的中心环，其特征在于：

所述防脱落构造只设置在所述第二环嵌合部。

5.根据权利要求1所述的中心环，其特征在于：

所述防脱落构造是将所述真空泵的泵侧嵌合部的直径与所述第二环嵌合部的直径的尺寸差设为过盈配合与过渡配合中的任一者的构造。

6.一种真空泵，其特征在于包括：

根据权利要求1至5中任一项所述的中心环；以及

泵主体，包含安装所述中心环的所述泵侧嵌合部即吸气法兰。