[发明专利]一种将A-S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法

权利要求书

1.一种将A-S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)先将放置有样品的A-S通用样品台在SEM中观察，找到目标区域；

(2)记录该区域在A-S通用样品台上的目标坐标；

(3)将A-S通用样品台转移到AFM样品台上，得到目标坐标在AFM样品台中的新坐标；

所述步骤(3)包括以下步骤：

(31)将AFM样品台位置归零，此时探针应位于AFM样品台原点正上方；

(32)将A-S通用样品台放置在AFM样品台上，将A-S通用样品台的坐标原点找到并与AFM样品台的坐标原点对齐；

(33)对A-S通用样品台的原点O和标记点A、B在AFM样品台上的坐标值进行修正；

(34)算出被测目标点C在AFM样品台上的新坐标C(X₁，Y₁)。

2.根据权利要求1所述的将A-S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法，其特征在于，在所述步骤(32)与所述步骤(33)之间还包括将A-S通用样品台与AFM样品台固定的步骤。

3.根据权利要求1所述的将A-S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法，其特征在于，在所述步骤(1)之前还包括以下步骤：在样品台上加工出坐标网格，标记出坐标原点O并在横坐标轴上加工出定位标记点A(a，0)，在纵坐标轴上加工出定位标记点B(0，b)。

4.根据权利要求3所述的将A-S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法，其特征在于，所述步骤(33)包括以下步骤：

(331)在光学显微镜下将A-S通用样品台的坐标原点移至AFM样品台的探针正下方；

(332)探针进行扫描；

(333)根据扫描结果测量出样品台上坐标原点在AFM样品台上的新坐标O(a₀，b₀)，横坐标轴上的定位标记点在AFM样品台上的新坐标A(a₁，b₁)以及纵坐标轴上的定位标记点在AFM样品台上的新坐标B(a₂，b₂)。

5.根据权利要求1所述的将A-S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法，其特征在于：根据向量运算法则算出被测目标点C在AFM样品台上的新坐标(X₁，Y₁)。