[发明专利]掩膜板及掩膜板制备方法有效
| 申请号： | 201810186212.1 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108179379B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 欧凌涛;甘帅燕;卓林海 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜板，包括全蚀刻区和不蚀刻区，其特征在于，所述全蚀刻区包括多个开口单元，每一所述开口单元的周围均设置有半蚀刻区，所述不蚀刻区紧邻所述开口单元的外围设置，还包括支撑柱，所述支撑柱设置于所述半蚀刻区范围内。
2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述半蚀刻区包括多个各自独立的半蚀刻单元，各所述半蚀刻单元的轮廓、尺寸相同。
3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述半蚀刻单元的轮廓为椭圆形、圆形、矩形中的至少一种。
4.一种掩膜板制备方法，其特征在于，包括：
获取一掩膜板基材；
在所述掩膜板基材的待蚀刻区域进行蚀刻操作形成开口单元；
在形成所述开口单元的周围进行半蚀刻操作形成半蚀刻区，并且在紧邻所述开口单元的外围设置不蚀刻区；
在所述半蚀刻区的范围内设置支撑柱。
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