[发明专利]脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统及方法

权利要求书

1.一种脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统，其特征在于，包括脉冲序列调节器、飞秒激光子系统、可见光透射激光反射镜、激光束与射流同轴监测子系统、反射式物镜、供液子系统、纳秒脉冲供电子子系统、射流发生装置、工作台、示波器；其中，

所述脉冲序列调节器在所述飞秒激光脉冲和所述纳秒脉冲供电子系统脉冲之间产生一定的脉冲延迟，并通过所述波器实时显示；

所述飞秒激光子系统产生的激光经过所述可见光透射激光反射镜反射后到达所述反射式物镜表面；

所述供液子系统提供的高压液体经过所述射流发生装置形成射流；

所述射流同轴监测子系统将所述飞秒激光子系统发射的激光和所述射流发生装置的射流进行同轴调节；

通过飞秒激光子系统进行激光烧蚀、纳秒脉冲供电子系统进行电解腐蚀、射流发生装置进行射流冲刷；三种作用不同的时序分布对所述工作台上的工件进行加工。

2.如权利要求1所述的一种脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统，其特征在于，所述飞秒激光子系统包括飞秒激光器、激光扩束镜、光路调整镜组；所述飞秒激光器的一端连接脉冲序列调节器，所述飞秒激光器射出的激光能够通过所述激光扩束镜后并通过所述光路调整镜组的折射射向所述可见光透射激光反射镜。

3.如权利要求1或2所述的一种脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统，其特征在于，所述激光束与射流同轴监测子系统包括白光光源、衰减镜、滤光镜、CCD和光学镜头；所述衰减镜、滤光镜、CCD和光学镜头与所述光路调整镜组的折射出的激光光路同轴线布置；所述白光光源为旁轴线布置。

4.如权利要求3所述的一种脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统，其特征在于，所述供液子系统包括三相变频电机、高压柱塞泵、蒸馏水箱、第一单向阀、电解液箱、第二单向阀、三通阀、单向过滤器、蓄能器、安全阀、压力表、双向过滤器、废液回收箱；

所述相变频电机与高压柱塞泵之间通过联轴器连接，所述高压柱塞泵的排出端与所述蓄能器、安全阀、压力表、双向过滤器依次连接；所述高压柱塞泵的吸入端与所述单向过滤器连接，所述单向过滤器的另一端连接所述三通阀，所述三通阀的其余两端分别连接所述第一单向阀与所述第二单向阀；所述第一单向阀连接所述蒸馏水箱，所述第二单向阀连接所述电解液箱；所述安全阀还连接有所述废液回收箱。

5.如权利要求1或4所述的一种脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统，其特征在于，所述纳秒脉冲供电子系统包括纳秒脉冲发生器以及高压直流电源；所述高压直流电源的正极与工作台连接，负极与射流发生装置连接，所述纳秒脉冲发生器与高压直流电源的信号输入端连接。

6.如权利要求5所述的一种脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统，其特征在于，所述射流发生装置包括快速接头、激光束与射流同轴调整装置、射流腔、射流束；所述激光束与射流同轴调整装置与射流腔同轴刚性连接；所述快速接头与射流腔刚性连接；所述快速接头还能够与所述双向过滤器连接。

7.如权利要求1或6所述的一种脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统，其特征在于，所述工作台包括工件和工作台面；所述工作台面包括夹具、导液槽；所述夹具用于将工件调整至加工位置，所述导液槽与所述废液回收箱通过水管连。