[发明专利]一种二维超薄LED及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201810186373.0 申请日: 2018-03-07
公开(公告)号: CN108963092B 公开(公告)日: 2019-11-08
发明(设计)人: 蔡端俊;刘国振;郝卓然;陈航洋;孙飞鹏 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01L51/50 分类号: H01L51/50;H01L51/56
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王宝筠
地址: 361001 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 二维半导体 二维 源层 载流子 势垒绝缘层 肖特基势垒 超薄柔性 二维材料 使用寿命 掺杂的 散热性 透光率 制备 发光 制造
【权利要求书】:

1.一种二维LED,其特征在于,包括:

衬底;

衬底上的有源层,所述有源层为n型或p型掺杂的二维半导体层,二维半导体层为原子层的半导体材料,所述有源层为掺Mg的p型六方氮化硼;

所述有源层上的势垒绝缘层,所述势垒绝缘层为二维材料层,所述二维材料层的层数少于10层;

所述势垒绝缘层上的电子注入层,所述电子注入层允许所述有源层产生的光线透过;

与所述有源层电连接的第一电极,以及与所述电子注入层电连接的第二电极。

2.根据权利要求1所述的二维LED,其特征在于,所述衬底为蓝宝石衬底或柔性PET、PI、PDMS薄膜。

3.根据权利要求1所述的二维LED,其特征在于,所述衬底为n型或p型半导体衬底,所述第一电极位于与所述有源层相对的衬底表面上。

4.根据权利要求1所述的二维LED,其特征在于,所述势垒绝缘层的二维材料包括:二维六方氮化硼、二维二硫化钼、二维二硒化钼、二维二硫化钨、二维硫化锡、二维硅烯、锗烯或黑磷中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的二维LED,其特征在于,所述电子注入层为掺铟氧化锡、银纳米线、铜纳米线、合金纳米线、石墨烯或碳纳米管中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的二维LED,其特征在于,所述第一电极为欧姆电极。

7.一种二维LED的制造方法,其特征在于,包括:

分别生长有源层以及势垒绝缘层,所述有源层为n型或p型掺杂的二维半导体层,所述势垒绝缘层为二维材料层;

将所述有源层转移至衬底上,二维半导体层为原子层的半导体材料,所述有源层为掺Mg的p型六方氮化硼;

将所述势垒绝缘层转移至所述有源层上,所述二维材料层的层数少于10层;

在所述势垒绝缘层上形成电子注入层,所述电子注入层或所述衬底允许所述有源层产生的光线透过;

形成与所述有源层电连接的第一电极,以及与所述电子注入层电连接的第二电极。

8.根据权利要求7所述的制造方法,其特征在于,所述势垒绝缘层的二维材料包括:二维六方氮化硼、二维二硫化钼、二维二硒化钼、二维二硫化钨、二维硫化锡、二维硅烯、锗烯或黑磷中的一种或多种。

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