[发明专利]一体式阴极盖板控制面板在审
申请号: | 201810187721.6 | 申请日: | 2018-03-07 |
公开(公告)号: | CN108193184A | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 杨宏斌;冷庆吉;齐丽婧;郭仙;柳丽丽;李忠祥 | 申请(专利权)人: | 河北物华天宝镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/54 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 倪钜芳 |
地址: | 065599 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阴极盖板 控制面板 快插接口 通讯接口 快接头 监控器 开腔 磁控溅射阴极 快插式接口 外部连接端 保证系统 分开处理 工艺气体 检查过程 控制接口 生产过程 阴极设备 集成化 冷却水 连接端 盖板 背板 装卸 分区 外部 通讯 检查 | ||
1.一体式阴极盖板控制面板,包括:面板背板(1)、监控器(3)、冷却水快接头(2)、工艺气体快接头(4)、通讯接口(7)、控制快插接口(6)及高压快插接口(5),其特征在于:冷却水快接头(2)设置在面板背板(1)最左侧,工艺气体快接头(4)设置在面板背板(1)的最右侧,监控器(3)设置在面板背板(1)上端的中间位置,监控器(3)底端从左至右依次为通讯接口(7)、控制快插接及高压快插接口(5),监控器(3)、通讯接口(7)、控制快插接及高压快插接口(5)之间有间隙。
2.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:冷却水快接头(2)为铜质航空接头。
3.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:工艺气体快接头(4)包括氩气快接头,氧气快接头,氮气接头快接头及备用快接头。
4.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:冷却水快接头(2)垂直设有至少2个冷却水快接头(2)。
5.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:面板背板(1)顶端设有等腰梯形结构的突起,突起中间设有圆形通孔。
6.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:冷却水快接头(2)的接头端设有密封圈,所述密封圈为膨胀橡胶圈。
7.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:高压快插接口(5)的接头端设有绝缘圈层,所述绝缘圈层包覆在高压快插接口(5)的外表面。
8.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:通讯接口(7)设有倒八字型的弹簧卡件,所述弹簧卡夹为弹性结构。
9.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:面板背板(1)表面设有镀膜。
10.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板,其特征在于:面板背板(1)边缘设有固定端,所述固定端与面板背板(1)所在平面有角度差,所述角度差的的范围为顺时针30°-45°范围内,所述固定端设有通孔,所述通孔与紧固螺丝配套。
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