[发明专利]一种掩膜版有效
申请号: | 201810188271.2 | 申请日: | 2018-03-07 |
公开(公告)号: | CN108179380B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 丁渭渭;徐鹏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张京波;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜版 | ||
本发明公开了一种掩膜版,包括版体,版体上具有:抓持区域;位于抓持区域内侧的圆弧标识区域;位于圆弧标识区域内侧的焊接区域;位于圆弧标识区域内侧的条块标识区域;和位于条块标识区域内侧的有效显示区域;其中,圆弧标识区域和条块标识区域内开设有应力平衡槽,在张网及焊接过程中既能够保证有效显示区域受力均匀,还能够保证焊接区域较为平坦、不发生褶皱,制成的套装掩膜版蒸镀效果较好,避免蒸镀后显示产品出现混色不良。
技术领域
本文涉及蒸镀技术领域,尤指一种掩膜版。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode)有机发光二极管是一种使用越来越广泛的器件结构,它是利用电子和空穴的复合形成激子而产生光发射的,通过调节驱动电流的大小可以得到不同的发光亮度。这种发光方式不同于传统的TFT-LCD(薄膜晶体管)方式,具有显著优势。具体为:
1、结构简单,能够自发光,无需背光源,从而可以减小屏幕厚度;
2、采用脉冲式驱动,响应时间短、速度快;
3、视角接近180°,相比LCD屏更为宽广;
4、低功耗,由于OLED不需要彩膜,因而其功耗取决于要显示的影像;
5、对比度高,可展现纯黑画面;
6、对温度适应性好,即在较宽的温度范围内都能保持良好的显示效果。
目前,真空蒸镀法虽难免会有些许材料浪费,但其所得器件寿命较长,工艺复杂性适中,仍是制备OLED器件的惯用方法。在这种制备方法中,FMM(Fine Metal Mask,高精度金属掩膜版,如图1所示)是保证有机发光材料蒸镀到设计位置的必需物品,其通常由抓持区域100、有效显示区域400、应力平衡标识区域200及焊接区域300等几部分组成。有效显示区域400为实际蒸镀区域,为了保证蒸镀效果,需要保证有效显示区域400在张网及焊接过程中受力均匀,焊接区域300不能出现褶皱。应力平衡标识区域200用于缓解应力,降低张网力对有效显示区域400的影响。抓持区域100和焊接区域300用于抓取FMM和将FMM与金属框架焊接为蒸镀时所用的套装掩膜版。
现有的应力平衡标识区域200为条状(应力平衡区域上开设应力平衡槽),这种设计结构简单,但其对应力的缓解作用较差,有效显示区域400容易出现应力不均,焊接区域300容易发生褶皱,会导致显示产品出现混色不良。随着玻璃利用率的提高(即有效显示区域400面积的增大),可用于设计应力平衡标示区域的面积逐渐减小,这种不良也会随之提高。
发明内容
为了解决上述技术问题中的至少之一,本文提供了一种掩膜版,在张网及焊接过程中有效显示区域受力均匀,焊接区域不会发生褶皱,制成的套装掩膜版蒸镀效果较好,避免蒸镀后显示产品出现混色不良。
本发明实施例提供的掩膜版,包括版体,所述版体上具有:抓持区域;位于所述抓持区域内侧的圆弧标识区域;位于所述圆弧标识区域内侧的焊接区域;位于所述圆弧标识区域内侧的条块标识区域;和位于所述条块标识区域内侧的有效显示区域;其中,所述圆弧标识区域和所述条块标识区域内开设有应力平衡槽。
可选地,所述圆弧标识区域的凹曲面朝外。
可选地,所述条块标识区域包括:块状标识区域,位于所述圆弧标识区域的内侧;和条状标识区域,位于所述块状标识区域的内侧。
可选地,所述块状标识区域包括横置的多个块状标识框,多个所述块状标识框排列成一行或多行,所述块状标识框内开设所述应力平衡槽。
可选地,所述条状标识区域包括横置的条状标识框,所述条状标识框内开设所述应力平衡槽。
可选地,所述焊接区域位于所述块状标识区域和所述条状标识区域之间。
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