[发明专利]一种具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置

权利要求书

1.一种具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置，其特征在于，包括底座(1)、控制器(2)、动力机构、炉体(3)、排气管(4)和两个导气机构，所述控制器(2)和炉体(3)均固定在底座(1)上，所述控制器(2)内设有PLC，所述排气管(4)位于炉体(3)的一侧，所述导气机构和动力机构均位于炉体(3)的另一侧，所述动力机构位于两个导气机构之间，所述导气机构包括储气罐(5)、导气管(6)、导气室(7)和入气管(8)，所述储气罐(5)通过导气管(6)与导气室(7)连通，所述导气室(7)通过入气管(8)与炉体(3)连通，所述导气室(7)内设有导气组件，所述排气管(4)上设有排气口，所述排气管(4)内设有排气机构；

所述导气组件包括导气轴(9)、驱动组件、第一锥齿轮(10)、两个扇叶(11)和两个套管(12)，两个套管(12)分别固定在导气室(7)的两侧的内壁上，所述导气轴(9)的两端分别位于两个套管(12)内，两个扇叶(11)分别位于导气轴(9)的两侧，所述第一锥齿轮(10)套设在导气轴(9)上，所述驱动组件与第一锥齿轮(10)传动连接；

所述驱动组件包括驱动块(13)、转盘(14)、转轴(15)、第二锥齿轮(16)、调节框(17)和调节单元，所述转盘(14)抵靠在驱动块(13)上，所述驱动块(13)的形状为圆锥形，所述转盘(14)套设在转轴(15)上，所述第二锥齿轮(16)固定在转轴(15)上，所述第二锥齿轮(16)与第一锥齿轮(10)啮合，所述调节框(17)的形状为U形，所述调节框(17)的开口指向转盘(14)，所述调节单元与调节框(17)传动连接；

所述排气机构包括往复组件、第一电机(18)、第一驱动轴(19)和两个清洁组件，所述往复组件与第一电机(18)传动连接，所述第一电机(18)与第一驱动轴(19)传动连接，所述第一电机(18)与PLC电连接，两个清洁组件分别位于第一驱动轴(19)的两侧；

所述清洁组件包括清洁板(20)和若干弹簧(21)，所述清洁板(20)通过弹簧(21)与第一驱动轴(19)连接，所述清洁板(20)的靠近排气管(4)的内壁的一侧设有若干毛刷，所述弹簧(21)处于压缩状态。

2.如权利要求1所述的具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置，其特征在于，所述动力机构包括第二电机(22)、第三锥齿轮(23)和两个动力组件，所述第二电机(22)固定在底座(1)上，所述第二电机(22)与PLC电连接，所述第二电机(22)与第三锥齿轮(23)传动连接，所述动力组件与导气机构一一对应，所述动力组件包括第四锥齿轮(24)和动力轴(25)，所述第四锥齿轮(24)通过动力轴(25)与驱动块(13)固定连接，所述第四锥齿轮(24)与第三锥齿轮(23)啮合。

3.如权利要求1所述的具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置，其特征在于，所述调节单元包括第三电机(26)、缓冲块(27)、第三驱动轴(28)、移动块(29)、支杆(30)、固定杆(31)和滑块(32)，所述固定杆(31)、第三电机(26)和缓冲块(27)依次固定在导气室(7)的靠近动力机构的一侧的内壁上，所述第三电机(26)与PLC电连接，所述第三驱动轴(28)位于第三电机(26)和缓冲块(27)之间，所述第三电机(26)与第三驱动轴(28)传动连接，所述移动块(29)套设在第三驱动轴(28)上，所述移动块(29)的与第三驱动轴(28)的连接处设有与第三驱动轴(28)匹配的螺纹，所述移动块(29)通过支杆(30)与滑块(32)铰接，所述滑块(32)固定在调节框(17)上，所述滑块(32)套设在固定杆(31)上。

4.如权利要求1所述的具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置，其特征在于，所述往复组件包括第四电机(33)、第一连杆(34)、第二连杆(35)和第三连杆(36)，所述第三电机(26)固定在排气管(4)内，所述第四电机(33)与PLC电连接，所述第四电机(33)与第一连杆(34)传动连接，所述第一连杆(34)通过第二连杆(35)与第三连杆(36)的一端铰接，所述第三连杆(36)的另一端与第一电机(18)固定连接。