[发明专利]一种用于自由电子激光器的可切换反射镜的光学谐振腔

权利要求书

1.一种用于自由电子激光器的可切换反射镜的光学谐振腔，其特征在于，包括大理石底座、真空腔体、多个反射镜及镜托、镜台卡槽、六维精密调整平台、反射镜的镜库及其运动机构、抓镜机械手及其运动机构；

每个所述反射镜均固定在镜托上，所述真空腔体连接所述大理石底座并置于其上，多个反射镜及镜托、镜库、抓镜机械手、六维精密调整平台均处于所述真空腔体内，所述六维精密调整平台竖直放置并与所述真空腔体的底板连接，所述镜台卡槽与所述六维精密调整平台连接并置于其上，工作的反射镜放置于镜台卡槽之内，二者相互契合，所述镜库与所述真空腔体连接并位于所述镜台卡槽上方，空闲的反射镜及镜托均放置在所述镜库的卡位内，所述镜库的运动机构与所述真空腔体及镜库连接并处于所述真空腔体外，所述抓镜机械手的运动机构与所述真空腔体连接并处于真空腔体外；

所述六维精密调整平台能实现六维且各维独立调节，通过控制六维精密调整平台的运动能实现工作反射镜的多维独立高精度调整；

所述反射镜的切换过程为：

抓镜机械手从反射镜正上方垂直向下运动，直到抓住工作反射镜的镜托，继而提升至一定高度；

镜库运动，使得镜库的空位对准抓镜机械手的竖直运动轴线；

抓镜机械手向下运动，直至将反射镜及镜托放入镜库空位，抓镜机械手向上运动至避开镜库运动的高度；

镜库运动，使待换入工作位置的反射镜处于抓镜机械手的正下方；

抓镜机械手向下运动，抓取待换入工作位置的反射镜及镜托，向上运动至避开镜库运动的高度；

镜库运动，使得抓镜机械手放镜至六维平台上的镜台上；

抓镜机械手向下运动，将待换入工作位置的反射镜及镜托放入六维平台上的镜台，再回升至初始高度，完成一次换镜。