[发明专利]一种冲孔针头表面多弧离子镀掺杂钛的类金刚石膜的方法

权利要求书

1.一种冲孔针头表面多弧离子镀掺杂钛的类金刚石膜的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)采用水磨砂纸对冲孔针头基体试样表面进行逐级打磨，并用Al₂O₃粉抛光至镜面状态，直至基体表面无明显划痕；

(2)将冲孔针头基体试样放入超声波清洗机中，依次在石油醚和无水乙醇中进行超声清洗，烘干后放入多弧真空离子镀膜机的真空室中待沉积；

(3)开启多弧真空离子镀膜机，多弧真空离子镀膜机所选用的靶材为钛靶，抽真空，加热，充入氩气，控制氩气的流量，维持气压的稳定，开启偏压轰击，进行辉光清洗，直到偏压表指针稳定；

(4)进行弧光清洗，维持偏压，调整钛靶电流；

(5)调整偏压，通入C₂H₂，在冲孔针头基体试样上镀含合金元素的类金刚石膜；

其中：

步骤(1)中，依次采用240#、320#、600#、800#、1000#、2000#的水磨砂纸对冲孔针头基体试样表面进行逐级打磨；

步骤(2)中，分别在石油醚和无水乙醇中超声清洗30min，石油醚和无水乙醇均为分析纯，超声波清洗机的功率为500W；

步骤(3)中，抽真空至5×10^-3Pa，经过50-80min后，加热至200℃，充入99.99％的高纯氩气，氩气流量控制由80sccm逐渐递减到50sccm，气压最后维持在5×10^-2Pa；进行辉光清洗时，占空比调为60％，偏压从-400V逐渐增加到-600V，清洗时间为5-8min，直到偏压表指针稳定；

步骤(4)中，偏压维持在-400V到-500V之间，调整钛靶电流为115A，清洗时间为4min；

步骤(5)中，

调整偏压为-250V，C₂H₂的流量控制为300sccm，镀含合金元素的类金刚石膜的时间为45min；

所述的合金元素为Ti。