[发明专利]透明导电层及显示面板的制造方法有效
| 申请号： | 201810201238.9 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108468026B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 苏家妮;林永龙;罗勖诚;林建亨 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透明 导电 显示 面板 制造 方法 | ||
1.一种透明导电层的制造方法，其特征在于，包括：
氧气分压与氩气分压的比值为A，水气分压与氩气分压的比值为B，氮气分压与氩气分压的比值为C，于0.009≤A≤0.0150、B≤0.0659以及C≤0.0061的条件下，借由等离子所产生的离子轰击氧化铟锡溅镀靶材以于一第一基板上形成一透明导电层。
2.根据权利要求1所述的透明导电层的制造方法，其特征在于，于水气分压小于或等于0.02Pa且氮气分压小于或等于0.002Pa的条件下，借由等离子所产生的离子轰击氧化铟锡溅镀靶材以于该第一基板上形成该透明导电层。
3.根据权利要求1所述的透明导电层的制造方法，其特征在于，于真空度小于或等于0.18Pa的条件下，借由等离子所产生的离子轰击氧化铟锡溅镀靶材以于该第一基板上形成该透明导电层。
4.一种显示面板的制造方法，其特征在于，包括：
于一第一基板上形成一透明导电层，其中氧气分压与氩气分压的比值为A，水气分压与氩气分压的比值为B，氮气分压与氩气分压的比值为C，而该透明导电层是于0.009≤A≤0.0150、B≤0.0659以及C≤0.0061的条件下，借由等离子所产生的离子轰击氧化铟锡溅镀靶材所形成；
组立该第一基板、一显示介质以及一第二基板，其中该显示介质位于该第一基板与该第二基板之间，而该第一基板位于该透明导电层与该显示介质之间。
5.根据权利要求4所述的显示面板的制造方法，其特征在于，于水气分压小于或等于0.02Pa且氮气分压小于或等于0.002Pa的条件下，借由等离子所产生的离子轰击氧化铟锡溅镀靶材以于该第一基板上形成该透明导电层。
6.根据权利要求4所述的显示面板的制造方法，其特征在于，于真空度小于或等于0.18Pa的条件下，借由等离子所产生的离子轰击氧化铟锡溅镀靶材以于该第一基板上形成该透明导电层。
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