[发明专利]一种双振镜扫描系统的安装装置

说明书

本发明公开了一种双振镜扫描系统的安装装置，包括：前连接板、振镜头垫板、扫描连接板、左、右扫描底板、筋板、调节支板、扩束镜部件安装组件、激光头装置安装组件；左、右扫描底板通过筋板连接前连接板，连接振镜头；扩束镜部件安装组件包括调节固定块、扩束镜固定块、扩束镜压块；激光头装置安装组件包括调节固定块、激光头固定块、激光头压块；扩束镜固定块、激光头固定块中部都设有中空内腔，间隙套装在的调节固定块上；右、左扫描底板上分别设有X轴、Y轴方向的腰形安装槽，侧壁上均设有螺纹调节基准孔，对应的均设有调节支板。本发明结构简单，两个方向的腰形安装槽，配合两个方向的调节支板调节，安装调试便捷，具有较好的实用效果。

技术领域

本发明涉及一种激光蚀刻机用的光路系统的安装装置，特别是涉及一种双振镜扫描系统的安装装置。

背景技术

目前激光加工技术，已应广泛应用于各种行业的高精度产品加工上，如手机的触摸屏的蚀刻、摄像头保护镜片、手机Home键的激光加工；特别是在激光蚀刻机上，对产品的加工精度要求也越来越高。

激光刻蚀的技术原理是将高光束质量的小功率激光束,一般为紫外线激光、光纤激光等聚焦乘极小光斑，在焦点初形成很高的功率密度，是材料在瞬间汽化蒸发，形成孔、缝、槽等加工部位。激光刻蚀是利用激光具有的无接触加工特性，柔性化程度高、加工速度快、无噪声、热影响区域小、可聚焦激光波长及的小光斑等优越的加工性能，获得所加工产品的尺寸精度和高加工质量。

从以上激光刻蚀机的技术特点来看，影响加工精度与质量的因素有很多。为了保证激光刻蚀加工精度，激光到达刻蚀产品加工区域面上之前，需要完成良好的聚焦，以保障在加工面上的聚焦特性。所以，其中激光光路系统的位置安装对于形成极小光斑、保证产品精度有着重要的影响。

现有激光刻蚀加工设备上，一般吸附平台都置于激光振镜头下，水平位置放置；振镜头扫描系统需要通过安装装置组件安装连接于Z向升降机构上，从而实现在整个设备上的位置初步固定。特别是对于现在的双振镜扫描系统的激光蚀刻机设备，两个振镜头的位置要求安装精度越来越高，左右方向要保持与Y轴向平行；前后位置要精确到几乎要在一条水平直线上，即双振镜的中心连线需要与x轴线平行。现有设备的安装装置，由于各部件连接装配误差累积，双振镜头扫描系统的安装调试不能满足实际高精度加工的需要，而且两个振镜头扫描系统的左右平行度，前后位置一致性无法进行安装快速微调，在设备安装调试环节造成实际困难。

发明内容

发明目的：针对上述现有技术普遍存在的问题和不足，本发明的目的是提供一种结构简单、安装调试便捷的双振镜扫描系统的安装装置。

技术方案：为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案为：

一种双振镜扫描系统的安装装置，包括：前连接板、振镜头垫板、扫描连接板、左扫描底板、右扫描底板、筋板、调节支板、扩束镜部件安装组件、激光头装置安装组件；

所述左扫描底板、右扫描底板的前端分别通过筋板与前连接板固定连接在一起；振镜头分别连接于前连接板上，中间设有振镜头垫板；

在所述左扫描底板、右扫描底板的前后端，各设置有扩束镜部件安装组件和激光头装置安装组件：其中，在前端近筋板处，所述扩速镜部件安装组件包括调节固定块、扩束镜固定块、扩束镜压块，所述调节固定块固定连接在左扫描底板、右扫描底板的中心线上；所述扩束镜固定块中部设有中空内腔，间隙套装在的调节固定块上，并分别固定连接在左扫描底板、右扫描底板上；在后端，所述激光头装置安装组件包括调节固定块、激光头固定块、激光头压块，所述调节固定块固定连接在左扫描底板、右扫描底板的中心线上；所述激光头固定块中部设有中空内腔，间隙套装在调节固定块上，并分别固定连接在左扫描底板、右扫描底板上；

所述右扫描底板上设有X轴方向的腰形安装槽，通过腰形安装槽安装在扫描连接板上的右侧位置；右扫描底板的侧壁上设有螺纹调节基准孔，对应的扫描连接板上的位置处设有两个调节支板；