[发明专利]应用于光电子封装的平面运动平台

说明书

本发明提供一种应用于光电子封装的平面运动平台，包括：载物台、第一解耦装置、第一驱动装置、第二解耦装置和第二驱动装置；第一解耦装置的顶部和第二解耦装置的顶部均与载物台的底部连接，第一解耦装置的底部与第一驱动装置的顶部连接，第二解耦装置的底部与第二驱动装置的顶部连接。本发明通过第一驱动装置驱动第一解耦装置以使第一解耦装置带动载物台沿第一方向运动，第二驱动装置驱动第二解耦装置以使第二解耦装置带动载物台沿第二方向运动，无需将一个方向的运动构件搭载于另一方向的运动构件上，从而避免增加另一方向对应直线电机的负载，使得另一方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度不会受到影响。

技术领域

本发明涉及光电子封装技术领域，更具体地，涉及一种应用于光电子封装的平面运动平台。

背景技术

光电子器件是光纤通信中的核心器件，具体使用时需要分别与输入阵列光纤和输出阵列光纤连接。光电子器件分别与输入阵列光纤和输出阵列光纤的连接为光电子封装。光电子封装是利用运动平台上的负载装夹机构将光电子器件与输入阵列光纤或输出阵列光纤进行光学对准耦合的过程。其中，运动平台的运动速度、加速度和启停精度决定了光电子封装的效率和精度。

现有技术中常采用的传统运动平台为载物台搭载于X(或Y)方向的运动构件上，在X(或Y)方向对应直线电机的作用下在X(或Y)方向的运动构件上沿X(或Y)方向运动；X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，在Y(或X)方向对应直线电机的作用下在Y(或X)方向的运动构件上沿Y(或X)方向运动，从而带动载物台沿Y(或X)方向运动。

上述传统运动平台由于X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，加重了Y(或X)方向对应直线电机的负载，使得Y(或X)方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度受到影响，进而降低光电子封装的效率和精度。

发明内容

本发明提供一种应用于光电子封装的平面运动平台，以克服现有技术中，传统运动平台由于X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，加重了Y(或X)方向对应直线电机的负载，使得Y(或X)方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度受到影响，进而降低光电子封装的效率和精度的问题。

根据本发明的一个方面，提供一种应用于光电子封装的平面运动平台，包括：载物台、第一解耦装置、第一驱动装置、第二解耦装置和第二驱动装置；所述第一解耦装置的顶部与所述载物台的底部连接，所述第一解耦装置的底部与所述第一驱动装置的顶部连接；所述第二解耦装置的顶部与所述载物台的底部连接，所述第二解耦装置的底部与所述第二驱动装置的顶部连接；所述第一驱动装置用于驱动所述第一解耦装置以使所述第一解耦装置带动所述载物台沿第一方向运动；所述第二驱动装置用于驱动所述第二解耦装置以使所述第二解耦装置带动所述载物台沿第二方向运动；所述第一解耦装置还用于在所述第二解耦装置带动所述载物台沿第二方向运动时避免所述第一驱动装置阻碍所述载物台运动；所述第二解耦装置还用于在所述第一解耦装置带动所述载物台沿第一方向运动时避免所述第二驱动装置阻碍所述载物台运动。

其中，所述第一解耦装置包括：第一光轴、第一直线轴承和第一直线轴承座；所述第一直线轴承座与所述载物台的底部固定连接；所述第一直线轴承设置于所述第一直线轴承座内；所述第一光轴穿过所述第一直线轴承和所述第一直线轴承座并与所述第一直线轴承相互配合；所述第一光轴两端固定于所述第一驱动装置的顶部；所述第二解耦装置包括：第二光轴、第二直线轴承和第二直线轴承座；所述第二直线轴承座与所述载物台的底部固定连接；所述第二直线轴承设置于所述第二直线轴承座内；所述第二光轴穿过所述第二直线轴承和所述第二直线轴承座并与所述第二直线轴承相互配合；所述第二光轴两端固定于所述第二驱动装置的顶部。