[发明专利]一种太赫兹波段超材料传感器

权利要求书

1.一种太赫兹波段超材料传感器，包括介质层，其特征在于，还包括附在所述介质层上的亚波长金属阵列，利用其谐振模式对折射率变化较为敏感的特性，将它用于对折射率的传感；所述亚波长金属阵列包含金属条(2) 和多个谐振环(1)组成的结构单元，所述谐振环(1)用于在太赫兹波激励下实现谐振，金属条(2) 用于引入结构的非对称性，实现类EIT效应，每个谐振环(1)为圆弧，多个谐振环(1)整体组合成为一个圆形谐振环，且在圆形谐振环的斜对称方向设有若干个大小相同的开口，金属条(2)位于圆形谐振环中且相对于圆形谐振环的中心上方位置处；

所述金属条(2)向上平移，形成在x方向的非对称结构，由金属条平移距离为0μm时表现出的亮模式和平移距离为1μm的表现出的暗模式发生强耦合，产生类EIT电磁诱导透明效应；

所述谐振环(1)的个数为4个，大小相同的开口的个数也为4个；

介质层材料为高阻硅，厚度为50.0μm，所述谐振环外半径为24.0μm，内半径为20.0μm，开口为3.0μm；所述金属条长为40.0μm，宽为4.0μm。