[发明专利]缓冲器结构

说明书

本发明提供一种缓冲器结构，其主要是由一上壳部、一下壳部、至少一缓冲环部、以及一缓冲气室所组成，通过缓冲环部弹抵上壳部与下壳部，使缓冲环部的变形段受外力挤压变形且上导引段与下导引段相互靠近时，所产生的抵抗变形力，有效分担晶圆盒所承受的碰撞力，并达到缓冲、保护作用的功效。

技术领域

本发明关于一种缓冲器结构，特别是一种应用在晶圆盒上的缓冲器结构。

背景技术

在晶圆厂中，晶圆盒扮演着相当重要的角色，用以将至少二片晶圆储存及在半导体各工艺间传输的功能，同时提供晶圆的高洁净置放环境，以确保制造过程中的晶圆不受外在环境的微粒污染。由于晶圆本身厚度极薄，因此在搬运过程中必须十分小心，避免因碰撞而造成晶圆损毁。

参阅图1所示，现有技术的晶圆盒100大多都采用至少二个缓冲器10锁固在晶圆盒100的底端，以降低晶圆盒100碰撞的机率，但是现有技术的缓冲器10仅具有一外壳部11，因此提供的防振效果相当有限，以致晶圆盒100在传送时，造成的振荡而使晶圆盒100损坏或使晶圆盒100的微粒掉落至晶圆表面而造成晶圆合格率下降的问题，无法充分达到保护晶圆的功效；另外，在运送晶圆盒100过程中，由于动作路径上的高地起伏，可能使得晶圆盒100产生倾斜等情形，而此情形可能使所搬运的晶圆造成碰撞，容易产生晶圆损伤的问题，因而造成晶圆破片等情况发生。

因此，业内需要一种在典型运输条件下能提供更强的抗振动性能的缓冲器结构，即为本发明欲研究改善的方向所在。

发明内容

鉴于上述现有技术的缺点，因此，本发明提供一种缓冲器结构，其主要在于分担晶圆盒所承受的碰撞力，并达到缓冲、保护作用的功效。

为达前述目的，本发明提供一种缓冲器结构，包含：

一上壳部，包含一上壳连接端、及至少一泄气孔。

一下壳部，包含一下壳连接端。

至少一缓冲环部，能够弹抵该上壳部与该下壳部且位于该上壳部与下壳部之间，并具有一连接该上壳连接端的上导引段、一连接该下壳连接端的下导引段、及一位于该上导引段与该下导引段之间的变形段。

一缓冲气室，由该缓冲环部、该上壳部及该下壳部所围绕而成，并且连通该泄气孔，当该变形段受一外力挤压变形时，该上导引段与该下导引段相互靠近，该缓冲气室内的气体通过该泄气孔排出。

在一较佳实施例中，其中该上导引段与该上壳连接端之间形成一呈90度的第一夹角。

在一较佳实施例中，其中该下导引段与该下壳连接端之间形成一呈90度的第二夹角。

在一较佳实施例中，其中该缓冲环部的外径大于该上壳部与该下壳部的外径。

在一较佳实施例中，其中还包含两螺丝，该上壳部具有两能够与该两螺丝螺接的螺合孔。

在一较佳实施例中，其中还包含至少一混凝胶，该混凝胶容设在该缓冲气室内。

据此，本发明所提供的一种缓冲器结构，其主要是由一上壳部、一下壳部、至少一缓冲环部及一缓冲气室所组成，通过缓冲环部弹抵上壳部与下壳部，使缓冲环部的变形段受外力挤压变形且上导引段与下导引段相互靠近时，所产生的抵抗变形力，有效分担晶圆盒所承受的碰撞力，并达到缓冲、保护作用的功效。

附图说明

图1是现有技术缓冲器结构的立体图；

图2是本发明第一实施例的立体图；

图3A是本发明第一实施例的局部放大图，显示缓冲环部未压缩的状态；

图3B是本发明第一实施例的局部放大图，显示缓冲环部压缩后的状态；

图4是本发明第一实施例的剖视图，显示本发明锁固晶圆盒的状态；