[发明专利]射频收发机中方柱型热电与PN结纳米光电集成发电机

权利要求书

1.一种射频收发机中方柱型热电与PN结纳米光电集成发电机，其特征是：该微纳发电机由制作于同一N型硅衬底(1)上的光电池和热电发电机两个部分构成，中间隔有第一氮化硅隔离层(8)，光电部分制作有绒面(2)，氧化铝膜(3)，光电P型掺杂区(4)，光电N型掺杂区(5)，SiO2隔离层(6)，光电电极(7)；热电发电机部分包括热电堆的下电极(9)，热电堆的P型臂(10)，热电堆的N型臂(11)，热电堆的上电极(12)，第二氮化硅隔离层(13)，散热板(14)；其中，背面区域光电P型掺杂区(4)和光电N型掺杂区(5)及其电极(7)相互交错，电极呈叉指形状排列；热电堆的P型臂(10)和热电堆的N型臂(11)中的多晶硅纳米线簇含有的纳米线数量为50-200，多晶硅纳米线由深紫外光刻形成，直径为1-100nm，高度为2-10um；热电堆电极(12)材料为金，金属板(14)材料为铝；采用的纳米硅薄膜的热导率远低于传统体材料，可以实现一边维持电子运输，一边抑制热量输送，从而极大的提高了热电发电效率。

2.根据权利要求1所述的一种射频收发机中方柱型热电与PN结纳米光电集成发电机，其特征是：该发电机用于射频收发组件中，光电池部分，其受光面朝外，用于接受环境中的不同方向的光线，由于采用背面结结构，消除了正面电极遮光，提升了光电效率；热电部分，由于射频收发组件热耗损严重，故将一端贴在其上方，对射频收发组件工作时产生的大量热能进行收集，实现可持续的绿色能源；光电和热电能量收集之后，通过DC-DC升压稳压电路后，存贮在电池中，可为无线传感网中的低功耗模块供电。