[发明专利]一种消除衍射光学元件中心亮点的方法在审
| 申请号： | 201810208692.7 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108594452A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 高世雄 | 申请（专利权）人： | 高世雄 |
| 主分类号： | G02B27/42 | 分类号： | G02B27/42 |
| 代理公司： | 北京德高行远知识产权代理有限公司 11549 | 代理人： | 杨瑞;王健鹏 |
| 地址： | 100143 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射光学元件 光场分布 光阑 遮挡 形貌 平移变换 输出平面 输出图形 平面的 微结构 图案 | ||
1.一种消除衍射光学元件中心亮点的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：
(1)首先，设输出图形平面的光场分布为u(ξ，ζ)；衍射光学元件表面的光场分布为g(x，y)；输出图形平面光场和输入平面光场之间的关系式为：
其中，k＝1/λ,λ代表波长；
g表示衍射光学元件表面的光场分布；
x表示衍射光学元件表面的横坐标；
y表示衍射光学元件表面的竖坐标；
ξ，ζ表示输出平面光场坐标；
zd表示衍射光学元件和成像平面之间的距离；
(2)将输出平面光场分布g做平移变换，使输出图形在输出平面上有一个(d1,d2)的平移，具体如下：
ξ1＝ξ+d1
将上述平移后的参数代入关系式，得到变换后的输出图形平面光场和输入平面光场之间的关系式：
其中，i代表复数；
设输出图形两个边的宽度分别为D1和D2,选取d1和d2的值,使d1>D1/2或d2>D2/2,则需要的图形会移出到中心亮点之外；
(3)解上述经过平移变换后的方程，得到衍射光学元件表面微结构的几何形貌；
(4)最后，在输出平面和输入平面之间的光学路径上设置光阑对零级光进行遮挡。
2.根据权利要求1所述的一种消除衍射光学元件中心亮点的方法，其特征在于：所述步骤(4)中光阑为不透明固体屏。
3.根据权利要求1或2所述的一种消除衍射光学元件中心亮点的方法，其特征在于：设输出图形的两个边的宽度分别为D1和D2；所述步骤(3)中输出平面平移量d1和d2的值的选取要满足d1>D1/2或d2>D2/2。
4.根据权利要求1所述的一种消除衍射光学元件中心亮点的方法，其特征在于：所述输出图形平面光场和输入平面光场之间的关系式还可以为：
设输出图形平面的光场分布为u(ξ，ζ)；
衍射光学元件表面的光场分布为g(x，y),衍射积分公式为:
其中，k＝1/λ,λ代表波长；
g表示衍射光学元件表面的光场分布；
x表示衍射光学元件表面的横坐标；
y表示衍射光学元件表面的竖坐标；
ξ，ζ表示输出平面光场坐标；
zd表示衍射光学元件和成像平面之间的距离。
5.一种基于消除衍射光学元件中心亮点的的方法的系统，其特征在于：包括用于发射光束的准直光照射光源、以及在光束路径上依次设置的衍射光学元件、光阑和透镜组；所述衍射光学元件的中心截面为透镜组的主截面。
6.根据权利要求5所述的一种消除衍射光学元件中心亮点的方法，其特征在于：所述衍射光学元件为夫琅禾费衍射光学元件。
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